[实用新型]一种应用在扫描电镜上面的托盘夹具有效
| 申请号： | 201720170304.1 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN206727057U | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 王世伟 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 610029 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用 扫描电镜 上面 托盘 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用在扫描电镜上面的托盘夹具，其特征在于，所述托盘夹具为直径为200mm的圆盘，圆盘中间同心设置150mm的凹槽，凹槽深度小于托盘厚度，其内部设置圆形橡胶垫片；所述托盘夹具顶部设置有凹口，所述凹槽顶部内壁上与凹口匹配位置设置有凸点，底部内壁上设置向外设置有矩形框，所述凹口内顶点与矩形框中心位置位于同一直径上。
2.根据权利要求1所述的托盘夹具，其特征在于：所述托盘厚度为800-1000μm。
3.根据权利要求1所述的托盘夹具，其特征在于：所述矩形框长度为20mm，宽度为10mm。
4.根据权利要求1所述的托盘夹具，其特征在于：所述橡胶垫片有4个。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都海威华芯科技有限公司，未经成都海威华芯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720170304.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
