[实用新型]一种晶圆级环境可靠性测试载具及测试机台

权利要求书

1.一种晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，包括：一底座、及设置于所述底座上的多个吸嘴；其中，所述底座包括真空腔体，当所述吸嘴受到的压力大于一预定压力时，所述吸嘴处于导通状态，所述吸嘴与所述真空腔体连通；当所述吸嘴受到的压力小于等于所述预定压力时，所述吸嘴处于关闭状态。

2.如权利要求1所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，进行晶圆级环境可靠性测试时，一测试晶圆放置于至少部分所述吸嘴上，至少三个所述吸嘴处于导通状态构成吸附所述测试晶圆的吸附面。

3.如权利要求1所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述吸嘴包括：外管和活塞，所述外管内设置有用于使气流进入所述真空腔体的通路；

当所述吸嘴处于关闭状态时，所述活塞封堵所述通路；

当所述吸嘴处于导通状态时，所述活塞打开所述通路。

4.如权利要求3所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述吸嘴还包括：设置于所述外管中的第一内管，所述第一内管设置有一开口，所述活塞的一端容置于所述第一内管中，所述活塞的另一端固定于所述外管上；

其中，当所述吸嘴处于关闭状态时，所述活塞容置于所述第一内管中的一端封堵所述开口；

当所述吸嘴处于导通状态时，所述第一内管相对于所述外管下移，所述活塞容置于所述第一内管中的一端打开所述开口。

5.如权利要求4所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述吸嘴还包括：设置于所述外管中的第二内管和密封圈，所述第二内管卡接于所述外管的内壁上，所述第一内管与第二内管通过所述密封圈连接。

6.如权利要求5所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述吸嘴还包括设置于所述外管内侧的第一卡环，设置于所述第一内管外侧的第二卡环，所述第一卡环与所述第二卡环卡接配合时，密封所述外管与所述第一内管之间的间隙。

7.如权利要求6所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述吸嘴还包括用于抵抗外界气压的弹性部件，所述第二卡环的数量为两个，所述弹性部件套接于两个第二卡环之间的第一内管上。

8.如权利要求7所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述弹性部件为弹簧。

9.如权利要求5所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述吸嘴还包括用于接触测试晶圆的吸附部件，所述吸附部件与所述第一内管固定连接。

10.如权利要求9所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述吸附部件为软橡胶吸附部件。

11.如权利要求10所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述吸附部件为喇叭形。

12.如权利要求1所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，还包括设置于所述底座上的温度传感器，所述温度传感器的高度小于所述吸嘴的高度。

13.如权利要求12所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，还包括设置于所述底座上的真空塞、所述温度传感器设置于真空塞上。

14.如权利要求12所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述温度传感器为热电偶温度传感器。

15.如权利要求1所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述预定压力小于等于测试晶圆的重力。

16.如权利要求1～15中任一项所述的晶圆级环境可靠性测试载具，其特征在于，所述底座的形状为圆柱体或长方体。

17.一种测试机台，其特征在于，包括如权利要求1～16中任一项所述的晶圆级环境可靠性测试载具。