[实用新型]玻璃基板制程用通风口挡板调整装置及挡板控制系统

权利要求书

1.一种玻璃基板制程用通风口挡板调整装置，其特征在于，包括可滑动地覆盖在所述通风口(1)上的挡板(2)和用于驱动所述挡板(2)沿直线方向截止或导通所述通风口(1)的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板制程用通风口挡板调整装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动装置和与该驱动装置传动连接的丝杠螺母调节机构，该丝杠螺母调节机构包括丝杠(3)和可滑动地套接在所述丝杠(3)上的滑块(4)，所述丝杠(3)沿所述直线方向延伸，所述挡板(2)固定在所述滑块(4)上。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板制程用通风口挡板调整装置，其特征在于，所述驱动装置为电动机(5)，所述电动机(5)和所述丝杠(3)之间通过变速箱(6)连接，所述变速箱(6)的输入轴与所述电动机(5)的输出轴连接，所述变速箱(6)的输出轴与所述丝杠(3)传动连接。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板制程用通风口挡板调整装置，其特征在于，所述变速箱(6)的输入轴与所述电动机(5)的输出轴之间可拆卸地安装有联轴器(7)。

5.根据权利要求1所述的玻璃基板制程用通风口挡板调整装置，其特征在于，所述通风口(1)两侧设置有沿所述直线方向延伸的导轨(8)，所述挡板(2)可滑动地安装在所述导轨(8)上。

6.一种玻璃基板制程用通风口挡板控制系统，其特征在于，包括

根据权利要求1-5中任意一项所述的调整装置，

第一检测装置(11)，用于检测玻璃基板制程区域内的压差，

控制器，分别与所述第一检测装置(11)和所述驱动机构电连接，以根据所述区域内的压差变化控制所述挡板(2)移动。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板制程用通风口挡板控制系统，其特征在于，所述控制系统还包括

第二检测装置(10)，用于检测所述挡板(2)被调节的行程，

所述控制器与所述第二检测装置(10)电连接，以根据所述挡板(2)的调节行程控制所述挡板(2)是否继续移动。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板制程用通风口挡板控制系统，其特征在于，所述第一检测装置(11)为压差传感器，所述第二检测装置(10)为编码器。

9.根据权利要求7所述的玻璃基板制程用通风口挡板控制系统，其特征在于，所述控制系统还包括与所述第一检测装置(11)和所述第二检测装置(10)电连接的数显仪表(12)。

10.根据权利要求6所述的玻璃基板制程用通风口挡板控制系统，其特征在于，所述控制器为安装在控制箱(9)内的PLC模块，所述控制箱(9)上还电连接有手动操作盘(13)。