[实用新型]膜厚检测装置

权利要求书

1.一种膜厚检测装置，其特征在于，包括：公共电极，检测电极，公共电极电压产生电路，检测电极信号处理电路，所述公共电极与所述检测电极在第一方向上相对且间隔设置，所述公共电极的第一公共面与所述检测电极的第一检测表面相对，所述第一公共面与所述第一检测表面之间形成待测膜的检测通道，其中，

公共电极电压产生电路，用于在所述公共电极上产生电压，使得所述检测电极上感应出有效信号电压；

检测电极信号处理电路包括：复位电压时序控制电路，检测电极有效信号电压转送时序控制电路和差分放大器，其中，所述复位电压时序控制电路，用于控制所述检测电极进行电压复位；所述检测电极有效信号电压转送时序控制电路，用于转送所述检测电极上的有效信号电压；所述差分放大器，用于对所述检测电极上的复位电压和所述有效信号电压进行差分放大后输出用于检测所述待测膜的有效信号。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：公共电极电压时序控制电路，其中，所述公共电极电压时序控制电路，用于产生控制信号，所述控制信号用于控制所述公共电极电压产生电路加到所述公共电极上的电压幅度和宽度适合预定信号的检测。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述检测电极信号处理电路还包括：检测电极复位电压转送时序控制电路，用于在所述检测电极进行电压复位后，转送所述检测电极上的复位电压。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述检测电极信号处理电路还包括：移位时序控制电路，用于将检测电极上的所述复位电压和所述有效信号电压传输到所述差分放大器的两个输入端。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：公共电极基板和检测电极基板，其中，

所述公共电极设置在所述公共电极基板的第一表面上，所述公共电极基板的第一表面与所述第一方向垂直，所述公共电极电压产生电路设置在所述公共电极基板的第二表面；

所述检测电极基板与所述公共电极基板在所述第一方向上间隔设置，所述检 测电极基板的第一表面朝向所述公共电极基板的第一表面，并且与所述公共电极基板的第一表面平行，所述检测电极设置在所述检测电极基板的第一表面上，所述检测电极信号处理电路设置在所述检测电极基板的第二表面上。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：公共电极框体和检测电极框体，其中，所述公共电极基板设置在所述公共电极框体上；所述检测电极框体与所述公共电极框体在所述第一方向上间隔设置，所述检测电极基板设置在所述检测电极框体上。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：公共电极保护层和检测电极保护层，其中，所述公共电极保护层设置在所述公共电极表面上；所述检测电极保护层设置在所述检测电极表面上。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：公共电极导电薄膜与检测电极导电薄膜，其中，所述公共电极导电薄膜设置在所述公共电极与所述公共电极保护层之间；所述检测电极导电薄膜设置在所述检测电极与所述检测电极保护层之间。

9.根据权利要求1至8任一所述的装置，其特征在于，所述检测电极为多个，所述多个检测电极沿第二方向间隔设置，其中，所述第二方向与所述待测膜的移动方向垂直，与所述第一方向垂直。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述检测电极为电极芯片，或者，所述检测电极为感应电荷的传感器。