[实用新型]一种探针的保护系统有效
| 申请号： | 201720191213.6 | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN206557253U | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 陆海;姜方友;何栩明;陈飞;詹冰冰 | 申请（专利权）人： | 华越微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙)33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 探针 保护 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种探针的保护系统，其特征在于：包括探针台和保护气体发生装置，保护气体发生装置通过输送管道将保护气体输送至探针台上的探针测试端，在输送管道上安装有电磁阀，电磁阀的电源线连接外部电源，电磁阀的信号线连接探针台上测试吸盘的真空信号输出端。
2.根据权利要求1所述的一种探针的保护系统，其特征在于：所述保护气体发生装置与电磁阀之间的输送管道上安装有流量计。
3.根据权利要求2所述的一种探针的保护系统，其特征在于：所述流量计采用LZB-6WB的玻璃转子流量计。
4.根据权利要求1所述的一种探针的保护系统，其特征在于：所述电磁阀采用型号为030e1-psl的电磁阀。
5.根据权利要求1所述的一种探针的保护系统，其特征在于：所述保护气体发生装置中的保护气体采用氮气。
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