[实用新型]无机粉体制作装置以及无机粉体制作与分级装置

权利要求书

1.一种无机粉体制作装置，其特征在于，该无机粉体制作装置包括：

绝缘管；

至少一对环状射频电极，环绕于该绝缘管的外周，以于通电后在该绝缘管外产生第一电场区并于该绝缘管内产生具有等离子体焰炬的第二电场区；以及

气体供应装置，对该绝缘管内供应反应雾体与惰性气体，以使该反应雾体通过该等离子体焰炬而被裂解氧化成无机粉体。

2.如权利要求1所述的无机粉体制作装置，其特征在于，该绝缘管包括电阻率在10⁹Ω·cm以上的陶瓷管。

3.如权利要求1所述的无机粉体制作装置，其特征在于，该第一电场区的电场强度大于该第二电场区的电场强度。

4.如权利要求1所述的无机粉体制作装置，其特征在于，该无机粉体制作装置还包括：

外管，环绕该绝缘管并包围该对环状射频电极；以及

氮气供应装置，对该外管内供应氮气。

5.如权利要求1所述的无机粉体制作装置，其特征在于，该气体供应装置包括：

反应雾体产生器，连至该绝缘管，以供应该反应雾体；以及

高压气体供应装置，与该反应雾体产生器相连，以供应该惰性气体至该反应雾体产生器。

6.一种无机粉体制作与分级装置，包括：

雾化设备，以雾化反应液体为反应雾体；

等离子体设备，包括：

绝缘管，与该雾化设备相连；

高压气体供应装置，供应惰性气体至该雾化设备，以使该反应雾体连同该惰性气体进入该绝缘管；以及

至少一对环状射频电极，环绕于该绝缘管的外周，以于通电后在该绝缘管外产生第一电场区并于该绝缘管内产生具有等离子体焰炬的第二电场区，使该反应雾体通过该等离子体焰炬而被裂解氧化成无机粉体；以及

分级设备，与该等离子体设备相连，该分级设备包括不同半径的多个干式涡锥，用以分级该无机粉体。

7.如权利要求6所述的无机粉体制作与分级装置，其特征在于，该绝缘管包括电阻率在10⁹Ω·cm以上的陶瓷管。

8.如权利要求6所述的无机粉体制作与分级装置，其特征在于，该第一电场区的电场强度大于该第二电场区的电场强度。

9.如权利要求6所述的无机粉体制作与分级装置，其特征在于，该等离子体设备还包括：

外管，环绕该绝缘管并包围该对环状射频电极；以及

氮气供应装置，对该外管内供应氮气。

10.如权利要求6所述的无机粉体制作与分级装置，其特征在于，该多个干式涡锥的锥角小于20度。

11.如权利要求6所述的无机粉体制作与分级装置，其特征在于，该多个干式涡锥中的每一个具有出口、进气口与粉体排出口，该出口的管径为最大管径除以N、该进气口的管径为该最大管径除以M与该粉体排出口的管径为最大管径除以L，其中N＝3.5至5.5、M＝5.5至8.5且L＝6.5至10。

12.如权利要求6所述的无机粉体制作与分级装置，其特征在于，该雾化设备包括压电震荡器或超音波震荡器。

13.如权利要求6所述的无机粉体制作与分级装置，其特征在于，该高压气体供应装置包括高压气瓶。