[实用新型]缺陷检测装置

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置包括：

频率可调节的激光发生装置，用于产生检测用的激光；

传感器，所述传感器接收激光在待检测件上引起的振动并将该振动转化成电学信号；

处理器，所述处理器接收来自所述传感器的所述电学信号并且对所述电学信号进行处理并最终算出缺陷所在位置；

其中，所述传感器是非接触式传感器。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括移动装置，所述移动装置使得所述待检测件与所述激光发生装置以预定的速度进行相对移动。

3.根据权利要求1或2所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述待检测件包括基底和设在所述基底上的膜层。

4.根据权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述传感器的个数是一个，且所述传感器位于该待检测件的所述膜层一侧。

5.根据权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述传感器的个数是两个或两个以上，其中，至少一个所述传感器位于该待检测件的所述膜层一侧，至少一个所述传感器位于该待检测件的所述基底一侧。

6.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，还设置有放大器，其接收来自所述传感器的所述电学信号，并将放大后的电学信号发送到所述处理器。

7.根据权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述待检测件的膜层是银层，所述待检测件的基底是玻璃。

8.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述非接触式传感器是空气耦合超声传感器或激光干涉仪。

9.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述激光发生装置的频率的调节范围是从紫外光到红外光。