[实用新型]改进型多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种改进型多晶硅铸锭炉，其包括炉体(1)、设置在炉体(1)上的抽气孔(2)、设置在所述炉体(1)内的带有升降杆(3)的保温隔热笼(4)，所述保温隔热笼(4)内设置有坩埚(5)、带有尾气排放孔(6)的坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)以及进气管(12)，所述石墨底板(8)放置在热交换平台(13)上，所述坩埚(5)放置在所述石墨底板(8)上，所述坩埚护板(7)设置在坩埚(5)外侧，所述侧部加热器(10)设置在所述坩埚护板(7)外侧，所述石墨盖板(9)设置在所述坩埚(5)上方，所述顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方，其特征在于：所述坩埚(5)的底部呈波浪型，即其底部设有若干截面呈弧形状的条型凹槽(14)，且相邻条形凹槽(14)无间距依次等齐排列；所述热交换平台(13)底部中间位置处设有截面呈三角形状的三角槽体(15)，所述三角槽体(15)两底角边缘相隔间距与所述坩埚(5)底部宽度等宽，所述三角槽体(15)的长度与所述条形凹槽(14)的长度等长，所述热交换平台(13)经石墨立柱(16)固定在所述炉体(1)底部。

2.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述条形凹槽(14)的长度与所述坩埚(5)的长度等长。

3.根据权利要求1或2所述的改进型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述条形凹槽(14)的凹槽深度为0.8-1.2mm，凹槽直径为1.2-2mm。

4.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述坩埚(5)与坩埚护板(7)之间设有碳毡。

5.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述坩埚(5)是熔融石英坩埚。

6.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述三角槽体(15)的高度为热交换平台(13)高度的1/4-1/2。

7.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述炉体(1)底部安装有溢流毯(17)，所述溢流毯(17)为四层结构，从上到下依次为针织陶瓷纤维毯层、针织陶瓷纤维毯层、陶瓷纤维毯层、碳毡层，所述针织陶瓷纤维层的厚度的为10mm、针织陶瓷纤维毯层的厚度为10mm、陶瓷纤维毯层的厚度为25mm、碳毡层的厚度为10mm。