[实用新型]一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备

权利要求书

1.一种真空蒸发源装置，包括至少一个蒸发源，其中，每个蒸发源设置有至少一个蒸镀开口，其特征在于，每个蒸镀开口处层叠设置有第一盖板和第二盖板，所述第一盖板上设置有贯穿其厚度的至少一个第一过孔，所述第二盖板上设置有与每个第一过孔一一对应的第二过孔；

所述第一盖板和/或第二盖板能够转动，以实现对每对相互对应的第一过孔和第二过孔的重合面积的调节。

2.根据权利要求1所述的真空蒸发源装置，其特征在于，所述第一盖板上设置的所述至少一个第一过孔沿所述第一盖板的周向均匀分布，且所述第二盖板上设置的所述至少一个第二过孔沿所述第二盖板的周向均匀分布。

3.根据权利要求2所述的真空蒸发源装置，其特征在于，在每对相互对应的所述第一过孔和所述第二过孔中，所述第一过孔和所述第二过孔的大小、形状均相同。

4.根据权利要求2所述的真空蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源为线形蒸发源或点状蒸发源。

5.根据权利要求4所述的真空蒸发源装置，其特征在于，所述点状蒸发源为坩埚，所述坩埚设置有一个蒸镀开口；所述第一盖板相对静止的设置于所述坩埚的蒸镀开口；

还包括第一驱动机构；

所述第一驱动机构与所述坩埚传动连接，用于驱动所述坩埚绕所述第一盖板的轴心线转动；或者，

所述第一驱动机构与所述第二盖板传动连接，用于驱动所述第二盖板绕其自身的轴心线转动。

6.根据权利要求5所述的真空蒸发源装置，其特征在于，还包括控制器；

所述控制器与所述第一驱动机构信号连接，用于控制所述第一驱动机构动作。

7.根据权利要求4所述的真空蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源为线形蒸发源时，所述线形蒸发源的每个蒸镀开口处相对静止地设置有所述第一盖板；

还包括与所述第二盖板传动连接、且用于驱动所述第二盖板绕其自身的轴心线转动的第二驱动机构。

8.根据权利要求1-7任一项所述的真空蒸发源装置，其特征在于，所述第一盖板的横截面形状和所述第二盖板的横截面形状均为圆形，且所述第一过孔和所述第二过孔均为扇形孔。

9.根据权利要求1-7任一项所述的真空蒸发源装置，其特征在于，还包括用于加热所述第二盖板的加热机构。

10.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的真空蒸发源装置。