[实用新型]一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置

权利要求书

1.一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述晶圆卡匣装置包括用于放置晶圆的卡匣载台(1)、用于控制卡匣载台升降的升降轴传动装置(2)和用于安装升降轴传动装置的升降轴固定座(3)，其中：

所述升降轴传动装置(2)包括用于提供卡匣载台升降的滑行导轨(4)、用于控制卡匣载台升降的丝杆(5)和用于控制丝杆转动的伺服电机，所述伺服电机的主轴和丝杆一端均设有相同的同步皮带轮(6)，并通过同步带(7)连接；

升降轴固定座(3)背面安装有伺服电机安装板(20)，升降轴固定座正面设有用于固定滑行导轨(4)的安装孔、滑行道轨的限位块(8)和丝杆安装座(9)，升降轴侧面分别设有延伸支架(10)，延伸支架上分别设有光纤传感器(11)；

所述卡匣载台(1)分为卡匣工作面(19)和卡匣安装面(12)，所述卡匣工作面设有针对卡匣的安装槽位(13)，所述卡匣安装面设有与滑行道轨匹配的导轨座(14)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述升降轴固定座(3)截面为“L”型，底部设有用于将卡匣装置固定在晶圆搬送机上的螺栓孔。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述卡匣载台(1)呈“L”型，所述导轨座(14)通过螺栓固定在卡匣安装面(12)上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述卡匣工作面(19)上分别设有用于检测卡匣存放位置的光电检知传感器(15)和用于检测卡匣存放的光电点位感应传感器(16)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述光纤传感器(11)用于确定晶圆的存放数量及相对应的存放层数位置。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述升降轴固定座(3)正面还设有用于限定卡匣载台Z轴极限行程的位置传感器(17)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述丝杆(5)上下两端设有用于限定卡匣载台Z轴物理极限行程的限位块(18)。