[实用新型]一种真空系统隔离的透射电子显微镜数字成像系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及数字成像技术领域，具体为一种真空系统隔离的透射电子显微镜数字成像系统。

背景技术

统上透射电子显微镜是使用胶片记录图像信息，随着数字成像技术的发展，从上个世纪九十年代开始，国外陆续有Gatan、Olympus、Tvips以及AMT 等公司推出了透射电子显微镜数字成像系统，目前国内仅见少数几个单位的研究人员进行了一些探索性工作，技术还不成熟，显微镜的透光性不高，导致成像不清晰，且放大的倍率较低，导致使用范围的局限性较大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空系统隔离的透射电子显微镜数字成像系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空系统隔离的透射电子显微镜数字成像系统，包括照相室、照相室底板、安装箱、电子束发射室和真空室，所述照相室底板的底部安装有照相室，所述照相室底部的一侧安装有第二透光镜，所述照相室底板的上方安装有真空室，所述真空室和第二透光镜中间位置处的照相室底板上安装有真空隔离装置，且真空隔离装置上安装有铅玻璃，所述铅玻璃的上方固定有荧光屏，所述荧光屏的底部设置有射铝膜层，且射铝膜层的上方设置有透明基底层，所述透明基底层的上方安装有荧光粉层，所述真空室的一侧设置有观测窗，且观测窗与水平面的夹角为45°，所述真空室的上方安装有投影镜，所述投影镜和真空室连接处的中间位置处安装有第一透光镜，所述安装箱靠近观测窗的一侧通过支架安装有目镜，且目镜与观测窗所在平面垂直，所述投影镜内部的底端安装有投影镜，且投影镜上方的安装箱内安装有中间镜，所述中间镜上方的安装箱内安装有物镜，所述安装箱上方安装有电子束发射室，所述电子束发射室顶端的中间位置处安装有电子枪。

优选的，所述铅玻璃的表面涂覆有增透膜。

优选的，所述电子束发射室和电子枪连接处的中间位置处安装有聚光镜。

优选的，所述电子枪下方的电子束发射室内部安装有加速器。

优选的，所述荧光屏、铅玻璃和第二透光镜皆位于电子束发射室的中轴线上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该真空系统隔离的透射电子显微镜数字成像系统安装有真空隔离装置，且真空隔离装置的中间位置处安装有一块带增透膜的铅玻璃，用以封闭真空系统，同时屏蔽了电子束轰击产生的射线，相较于普通的显微镜，成像更加的清晰，且铅玻璃上设置有增透膜，使得铅玻璃的增透性更高，有利于成像，铅玻璃的上方固定有荧光屏，且荧光屏的分为荧光粉层、透明基地层和反射铝膜层，使得荧光屏的亮度更高，有效的提高了荧光屏的分辨率，该真空系统隔离的透射电子显微镜数字成像系统采用低位安装的方式，可以有效的提高显微镜的放大倍率，便于拍摄高分辨率的图像。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的荧光屏结构示意图。

图中：1-照相室；2-真空隔离装置；3-照相室底板；4-观测窗；5-目镜； 6-安装箱；7-电子束发射室；8-电子枪；9-加速器；10-聚光镜；11-物镜； 12-中间镜；13-投影镜；14-第一透光镜；15-真空室；16-荧光屏；17-铅玻璃；18-第二透光镜；19-荧光粉层；20-透明基底层；21-反射铝膜层。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。