[实用新型]一种晶圆与玻璃分离装置

权利要求书

1.一种晶圆与玻璃分离装置，其特征在于；包括机架、上吸盘组件、位于上吸盘组件下方的下吸盘组件，所述下吸盘组件包括固定不动的下吸盘、贴合在下吸盘下的下加热器、穿设在下吸盘中能够升降的多根支撑柱，所述上吸盘组件包括上吸盘，贴合在上吸盘上的上加热器，所述机架上还设有能够驱动所述上吸盘组件竖向及左右移动的驱动组件，所述支撑柱的顶面具有吸嘴，所述上吸盘组件中具有压力传感器，所述上加热器和所述下加热器中均具有温度传感器。

2.根据权利要求1所述的晶圆与玻璃分离装置，其特征在于：所述上吸盘组件还包括微动座和支撑梁，所述微动座悬吊在所述支撑梁下方，所述压力传感器安装在所述微动座和所述支撑梁之间；所述上加热器固定在所述微动座的下方，所述支撑梁与所述驱动组件连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆与玻璃分离装置，其特征在于：所述支撑梁两侧设侧架，所述侧架通过弹簧将所述微动座悬吊在所述支撑梁的下方。

4.根据权利要求3所述的晶圆与玻璃分离装置，其特征在于：所述微动座的中心位置具有中心架，所述支撑梁的中心职位两侧具有通孔，所述中心架的立柱穿设在所述通孔中，所述立柱的下端连接所述微动座，所述中心架的横梁位于所述支撑梁的上方，所述中心架的横梁设有下端抵顶在所述支撑梁上的支撑螺栓。

5.根据权利要求4所述的晶圆与玻璃分离装置，其特征在于：所述压力传感器设置在所述支撑梁下表面，所述微动座上表面中心位置具有凸起块，通过所述压力传感器的形变球恰好与所述凸起块有接触。