[实用新型]晶体炉的真空与排气管路结构

权利要求书

1.一种晶体炉的真空与排气管路结构，包括真空管路，其特征在于，包括进气口、排气管路、真空及排气管路三通件、真空保护阀、排气保护阀，所述进气口设置在所述真空及排气管路三通件的前端上，所述真空保护阀设置在所述真空管路的前端，所述真空及排气管路三通件安装在所述真空保护阀的前端上，所述排气保护阀设置在所述排气管路的前端，所述排气保护阀的前端与所述真空及排气管路三通件连接。

2.根据权利要求1所述的晶体炉的真空与排气管路结构，其特征在于，包括水冷盘，所述水冷盘设置在所述真空及排气管路三通件的前端与所述进气口连接处的位置上。

3.根据权利要求1所述的晶体炉的真空与排气管路结构，其特征在于，包括安全阀、排气阀、微量调节阀、微量调节排气阀，所述排气管路包括第一支路、第二支路和第三支路，所述第一支路设置有所述安全阀，所述第二支路与所述排气阀连接，所述第三支路与所述微量调节排气阀的进气端连接，所述微量调节排气阀的排气端通过管路与所述微量调节阀相连。

4.根据权利要求3所述的晶体炉的真空与排气管路结构，其特征在于，包括限流孔板，所述限流孔板设置在所述第二支路的排气阀与所述排气保护阀之间的支路管路中。

5.根据权利要求3或4所述的晶体炉的真空与排气管路结构，其特征在于，包括波纹软管，所述波纹软管分别设置在所述第二支路的排气阀与所述排气保护阀之间的支路管路上以及所述第三支路的微量调节排气阀与所述排气保护阀之间的支路管路上。