[实用新型]一种薄膜体声波谐振器及滤波器有效
| 申请号： | 201720215265.2 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN206658185U | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 张树民;王国浩;陈海龙 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜体声波谐振器，包括基片及形成在所述基片上的空气隙、覆盖在所述空气隙上方的压电三明治结构，所述压电三明治结构包括依次堆叠的第一电极、压电层、第二电极；其中，所述压电层为压电单晶，所述第一电极介于所述压电单晶的第一表面与所述基片之间，所述第二电极位于所述压电单晶的第二表面。
2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述压电单晶与所述基片之间还包括键合层。
3.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述压电单晶包括压电石英、钽酸锂、铌酸锂或四硼酸锂。
4.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于：还包括形成在所述压电单晶的第二表面的互连层。
5.根据权利要求4所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述互连层将所述第一电极引出至所述压电单晶的第二表面。
6.一种滤波器，包括权利要求1-5任一项所述的薄膜体声波谐振器。
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