[实用新型]一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置有效
申请号: | 201720215589.6 | 申请日: | 2017-03-07 |
公开(公告)号: | CN206556592U | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | 王子菲 | 申请(专利权)人: | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/03 | 分类号: | G01B11/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201203 上海市浦东新区郭*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 机械 手臂 末端 执行 定位 精度 测量 装置 | ||
1.一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置,它包括底座、导向杆、滑套、横梁、滑块、激光位移传感器、水准仪,所述底座呈半圆弧形,底座两端分别与导向杆竖直连接固定,所述导向杆顶端均水平安装一圆形水准仪,且导向杆顶端水平安装有一尺形横梁组成一门形框架,所述导向杆上均设一滑套,所述滑套通过水平安装的半圆弧形横梁保持同步滑动,所述尺形横梁和半圆弧形横梁上均安装至少一滑块,且尺形横梁上的滑块上方水平固定一条形水准仪,所述所有滑套和滑块一侧均设一锁紧螺钉,且均安装一激光位移传感器。
2.根据权利要求1所述的一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置,其特征在于:底座呈半圆弧形,底座两端分别与导向杆竖直连接固定,且导向杆顶端水平安装有一尺形横梁组成一门形框架。
3.根据权利要求1所述的一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置,其特征在于:两导向杆顶端均水平安装一圆形水准仪,尺形横梁上的滑块上方横向固定一条形水准仪。
4.根据权利要求1所述的一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置,其特征在于:两导向杆上均设一滑套,两滑套通过水平安装的半圆弧形横梁保持同步滑动。
5.根据权利要求3所述的一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置,其特征在于:两滑套上安装的激光位移传感器扫描方向是水平且相向的,半圆弧形横梁滑块上安装的激光位移传感器扫描方向指向半圆弧形横梁的圆心,且其与两滑套上安装的激光位移传感器处于同一水平扫描面。
6.根据权利要求1或权利4所述的一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置,其特征在于:尺形横梁滑块上安装的激光位移传感器扫描方向竖直向下,且与两滑套上安装的激光位移传感器处于同一竖直扫描面。
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