[实用新型]一种高精度真空腔体直线导向运动装置

权利要求书

1.一种高精度真空腔体直线导向运动装置，其特征在于：包括密封腔体，所述密封腔体中部设置有具有导向功能的直线轴承，垂直贯穿于所述直线轴承的中部安装有起导向作用的导向轴，所述密封腔体的下方设置有内腔体部件，所述导向轴的下端与内腔体部件中部连接设置有用于固定导向轴的导向轴固定螺丝，所述密封腔体的顶部上设置有密封罩，所述导向轴的上端安装在密封罩内，所述密封罩与密封腔体的连接处设置有密封胶层，所述密封罩下端的边缘设置有用于压紧密封胶层、并将密封罩固定安装在密封腔体上面的密封罩固定螺丝。

2.根据权利要求1所述的一种高精度真空腔体直线导向运动装置，其特征在于：所述直线轴承下端的边缘设置有将其固定安装在密封腔体内的轴承固定螺丝。

3.根据权利要求1所述的一种高精度真空腔体直线导向运动装置，其特征在于：所述内腔体部件通过导向轴能直接压紧物体进行直线运动。

4.根据权利要求1所述的一种高精度真空腔体直线导向运动装置，其特征在于：与所述导向轴连接安装设置有电机或气缸。

5.根据权利要求2所述的一种高精度真空腔体直线导向运动装置，其特征在于：所述轴承固定螺丝设置有至少二枚。

6.根据权利要求1所述的一种高精度真空腔体直线导向运动装置，其特征在于：所述密封罩固定螺丝设置有至少二枚。

7.根据权利要求1所述的一种高精度真空腔体直线导向运动装置，其特征在于：所述导向轴固定螺丝设置有至少一枚。