[实用新型]一种激光修复系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种激光修复系统。

背景技术

目前，在显示基板的制造过程中，可能会由于工艺的原因出现一些不良，例如在形成源极或漏极时，常会出现刻蚀不完全的问题，这时就需要对显示基板进行修复以将多余的部分去除掉。

现有技术中常利用如图1所示的激光发射器10对显示基板(待修复基板)20进行修复，激光发射器10包括激光发射头101，然而由于显示基板20中大多数膜层都是金属材料，金属材料在激光发射头101发出的激光的热效应下容易溅射，而溅射的碎屑201会污染显示基板20，从而又会引起二次不良。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种激光修复系统，可在修复待修复基板的过程中，避免污染待修复基板。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供一种激光修复系统，包括：激光发射器，所述激光发射器上设置有激光发射头；吹气装置，所述吹气装置具有吹气口，用于朝向所述激光发射头的照射位置进行吹气；吸气装置，所述吸气装置具有吸气腔室，所述吸气腔室具有吸气口，所述吸气口用于朝向所述激光发射头的照射位置进行吸气；其中，所述吹气口与所述吸气腔室互不连通。

优选的，所述吸气装置和所述吹气装置封装在一壳体内，所述吹气装置的吹气口和所述吸气装置的吸气口露出于所述壳体。

优选的，所述激光修复系统还包括：通道集成装置；所述通道集成装置包括光通道、吸气通道和吹气通道；所述光通道用于使所述激光发射头发射的光通过，所述吹气通道与所述吹气口通过管道相连通，所述吸气通道与所述吸气口通过管道相连通；其中，所述光通道的光出口和所述吹气通道的出气口位于所述通道集成装置的同一个端面上。

优选的，所述吸气通道的入气口、所述光通道的光出口和所述吹气通道的出气口位于所述通道集成装置的同一个端面上。

进一步优选的，所述吹气通道的出气口相对所述吸气通道的入气口靠近所述光通道的光出口。

优选的，所述吹气通道分为入气段和出气段，所述吹气通道的出气段向靠近所述光通道的光出口处倾斜。

优选的，所述通道集成装置还包括用于密封所述光通道的光入口和光出口的透明遮挡件。

优选的，所述通道集成装置包括多个吹气通道和多个吸气通道，所述多个吹气通道围绕所述光通道设置，所述多个吸气通道围绕多个吹气通道设置。

优选的，所述吹气装置包括第一气压调节阀，用于调节所述吹气口的吹气压力；和/或所述吸气装置包括第二气压调节阀，用于调节所述吸气口的吸气压力。

优选的，所述激光发射器具有一个激光出射口，所述激光发射器包括多个激光发射头，所述多个激发光射头均可移动至所述激光出射口；其中，所述激光出射口正对所述通道集成装置中的光通道。

本实用新型实施例提供一种激光修复系统，由于激光修复系统除包括激光发射器外，还包括吹气装置和吸气装置，当激光发射器的激光发射头对待修复基板中的待修复位置进行修复时，吹气装置对激光照射位置进行吹气，从而可以使溅射的碎屑处于悬浮状态，这样碎屑就不会粘结在待修复基板上，吸气装置对激光照射位置进行吸气时，可以吸附悬浮的碎屑，这样便避免了碎屑落在待修复基板上，减少了修复过程对待修复基板的污染，从而减小了二次不良的产生。此外，吸附装置还可以对空气中的颗粒进行吸附，防止空气中的颗粒落在待修复基板上，以进一步减小对待修复基板的污染，保证了待修复基板的洁净度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的一种激光发射器的结构示意图；

图2(a)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图一；

图2(b)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图二；

图3(a)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图三；

图3(b)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图四；

图3(c)为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图五；

图4为本实用新型实施例提供的一种激光修复系统的结构示意图六；