[实用新型]全自动硅片清洗线有效
申请号: | 201720222718.4 | 申请日: | 2017-03-08 |
公开(公告)号: | CN206505942U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 李继忠;李述周 | 申请(专利权)人: | 常州市科沛达超声工程设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/02 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所32225 | 代理人: | 孙彬 |
地址: | 213025 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 全自动 硅片 清洗 | ||
技术领域
本实用新型属于自动化领域,具体涉及一种全自动硅片清洗线。
背景技术
中国光伏市场装机量需求增长迅猛。劳动力短缺、人工成本不断攀升,导致太阳能厂商对自动化设备需求提升,对降低生产成本、提高产品良率有者显著的效果。
现清洗设备使用厂商在硅片脱胶后,需要人工插片将清洗篮装满硅片,即花篮装满。然后通过小车周转托入清洗机进料处。待清洗后再由人工周转放入烘箱进行硅片烘干,烘干后再次周转到分选仪设备人工放篮。
因此,现有的生产模式过于依赖人海战术,且产能不稳定。
实用新型内容
为了提高硅片装蓝、清洗和烘干的自动化程度,本实用新型的目的是提供一种全自动硅片清洗线。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种全自动硅片清洗线,包括:插片段、清洗段、烘干段;其中所述插片段适于将层叠硅片逐片插入花篮中,并将满载花篮送至清洗段进行清洗,且在清洗完毕后送至烘干段进行烘干。
进一步,所述插片段包括:至少一路硅片分片输送机构、硅片装载机构,花篮输送机构、空篮回转机构和待上料机构,且各机构均由控制模块控制;其中所述硅片分片输送机构包括:用于放置层叠硅片的水槽、硅片负压吸取装置、硅片传输装置;在工作时,通过水槽内的喷射水流使部分硅片上浮,启动硅片负压吸取装置吸取位于最上层的硅片,并通过硅片传输装置送入硅片装载机构内的空花篮中;当花篮装载完毕后,由花篮输送机构将花篮送至待上料机构,同时通过空篮回转机构将一空篮送回,并通过花篮输送机构将空篮送至硅片装载机构。
进一步,所述水槽内设有一活动支架,该活动支架用于叠放硅片,并使层叠硅片调整至负压吸取装置的吸取位;以及所述硅片传输装置上设有用于检测硅片是否完整的检测单元,所述硅片传输装置的后端为一翻转架,且该翻转架通过一升降气缸控制硅片传输装置的后端向下倾斜;若检测单元检测到硅片不良时,所述控制模块通过升降气缸使硅片传输装置的后端向下倾斜,即不良硅片掉落。
进一步,所述硅片装载机构包括:花篮夹持机构、花篮丝杆升降机构;所述硅片传输装置的后侧还设有带轮过度装置;所述硅片传输装置适于将完整硅片通过带轮过度装置输送至花篮中;以及在每片硅片送入花篮后,所述花篮丝杆升降机构均控制花篮提升一定高度。
进一步,所述待上料机构包括:用于放置花篮的L形支架,换向机构;所述L形支架通过一翻转气缸控制其倾倒;所述换向机构适于将倾倒后的花篮顶升并旋转90°后横向排列。
进一步,所述清洗段包括:若干按照清洗工序依次排列的清洗槽,用于控制清洗槽来回晃动的抛动机构,用于抓取横向排列花篮依次进入各清洗槽的机械手搬运机构,以及在一最后清洗槽处设有慢拉机构;所述慢拉机构适于将进入该最后清洗槽内花篮托起进行脱水;所述慢拉机构包括:位于最后清洗槽两侧的托架,以及使托架上升或下降的齿轮齿条机构,一驱动电机适于通过同步轴、皮带左右同时带动齿轮齿条机构使托架同步上升。
进一步,所述烘干段包括:链条传送机构,以及架设在链条传送机构上的热风循环机构;所述机械手搬运机构适于将位于托架上的花篮夹持后放入链条传送机构;在热风循环机构对硅片进行烘干后,通过烘干段花篮顶升机构将花篮顶升;以及位于烘干段后还设有移载段;所述移载段包括:五轴机械手机构;所述五轴机械手机构将花篮抓取搬运至后续设备的上料处,以将已卸料的空篮取回放入空篮回转机构的回料顶升机构上,送至硅片装载机构。
进一步,所述机械手搬运机构包括:一对抓手,所述抓手上设有通电线路,所述花篮内置有通电导线;在抓手夹持花篮后,通电导线与通电线路导通构成回路,所述机械手搬运机构内设有通电检测模块,且通过所述通电检测模块所检测的回路电流判定花篮是否掉落。
本实用新型的有益效果:通过对实际生产厂商的工艺需求加以自动化集成,插片环节全自动化,插片后右搬运机械手将花篮放入清洗设备清洗,清洗后由搬运机械手将花篮放入通过式烘箱烘干,再由五轴机械手机构将花篮加载到分选设备(后续设备)的上料处;自动化生产降低了硅片在周转过程中的损耗,节约了在清洗环节的周转时间,提高了设备的单日产能降低生产厂家的生产成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的全自动硅片清洗线的整体结构示图;
图2是本实用新型的插片段的局部示图;
图3是本实用新型的插片段的侧视图;
图4是本实用新型的硅片分片输送机构的结构示图;
图5是本实用新型的清洗段的一侧视图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的