[实用新型]大面积钙钛矿薄膜的制备设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备。

背景技术

钙钛矿薄膜太阳能电池作为下一代高效薄膜太阳能电池，其发展非常迅速，2012年公开发表了第一个固态钙钛矿太阳能电池其效率9.7%，5年时间内，小面积钙钛矿薄膜太阳能电池效率达到21%，目前，已经开发出一些替代旋涂的产业化方法，如热喷涂发，热蒸发法，CVD法等。但是这些高效电池都是用旋涂法制备的，无法进行大面积产业化。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，解决钙钛矿太阳能电池不能大面积制备的缺陷。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

方案一：一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，包括真空腔，所述真空腔内设置有用于放置衬底的衬底加热器；

所述衬底加热器的下方真空腔内设置有第一蒸发壳和第二蒸发壳，所述第一蒸发壳的上端呈开口状，所述第二蒸发壳的上端面竖直设置有多根气管，所述第一蒸发壳套嵌在第二蒸发壳的上端，各气管的上端从第一蒸发壳的底面穿过后伸出第一蒸发壳；所述第一蒸发器和衬底加热器之间设置有可做开合运动的挡板；

所述第一蒸发壳的底部设置有用于对第一蒸发壳底面进行加热的第一加热器，所述第一蒸发壳连接有第一载气管道，所述第一载气管道与外部的载气气源连通；

所述第二蒸发壳的底部设置有用于对第二蒸发壳底面进行加热的第二加热器，所述第二蒸发壳连接有第二载气管道，所述第二载气管道与外部的载气气源连通。

进一步的，所述第一载气管道的管路上设置有第一气体预热器，所述第二载气管道的管路上设置有第二气体预热器。

进一步的，气体预热器包括金属加热体，所述金属加热体内开设有皮亚诺曲线结构气流通道。

进一步的，所述第一蒸发壳上端开口上设置有喷孔板，所述喷孔板上开设有若干个第一气孔和第二气孔，所述的第一气孔用于通过经气化的固体蒸发源1，所述的第二气孔用于通过经气化的固体蒸发源2，各第一气孔和第二气孔交替间隔分布；所述第二蒸发壳的各个气管上端与第二气孔连接。

进一步的，所述真空腔的下端设置有真空泵组，所述真空泵组与真空腔的内腔连通，所述真空泵组的进口设置有蝶阀；所述真空腔内设置有检测衬底厚度的膜厚计。

方案二：一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，包括真空腔，所述真空腔内设置有用于放置衬底的衬底加热器，所述衬底加热器的工作面朝下设置；

所述衬底加热器的下方真空腔内设置有第一蒸发壳和第二蒸发壳所述第一蒸发壳的上端呈开口状，所述第二蒸发壳的上端面竖直设置有多根气管，所述第一蒸发壳套嵌在第二蒸发壳的上端，各气管的上端从第一蒸发壳的底面穿过后伸出第一蒸发壳；所述第一蒸发器和衬底加热器之间设置有可做开合运动的挡板；

所述的第一蒸发壳连接有第一载气管道，所述第一载气管道与外部的载气气源连通，所述第一载气管道的管路上设置有第一原料加热箱，所述第一原料加热箱连接第一原料推送装置；所述第二载气管道的管路上设置有第二原料加热箱，所述第二原料加热箱连接第二原料推送装置；原料推送装置用于对原料箱进行原料添加。

进一步的，所述第一原料加热箱上游的第一载气管道的管路上设置有第一气体预热器，所述第二原料加热箱上游的第二载气管道的管路上设置有第一气体预热器；

所述真空腔内还设置有伴热加热器，所述伴热加热器包裹在第一蒸发壳和第二蒸发壳的外部。

进一步的，气体预热器包括金属加热体，所述金属加热体内开设有皮亚诺曲线结构气流通道。

进一步的，所述第一蒸发壳上端开口上设置有喷孔板，所述喷孔板上开设有若干个第一气孔和第二气孔，所述的第一气孔用于通过经气化的固体蒸发源1，所述的第二气孔用于通过经气化的固体蒸发源2，各第一气孔和第二气孔交替间隔分布；所述第二蒸发壳的各个气管上端与第二气孔连接。

进一步的，所述真空腔的下端设置有真空泵组，所述真空泵组与真空腔的内腔连通，所述真空泵组的进口设置有蝶阀；所述真空腔内设置有检测衬底厚度的膜厚计。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的大面积钙钛矿薄膜的设备，通过载气经由喷孔板将反应物种喷至衬底上，反应形成钙钛矿薄膜，大大提高了钙钛矿薄膜大面积沉积均匀性。

附图说明

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

图1是实施例一中大面积钙钛矿薄膜制备设备的示意图；