[实用新型]双层异质结构模具有效
| 申请号： | 201720228736.3 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN207002246U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 董健;金焱立;龙芝剑;孙笠;董鹤 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B82B1/00 | 分类号： | B82B1/00;B82B3/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司33201 | 代理人： | 黄美娟,王兵 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双层 结构 模具 | ||
【权利要求书】：
1.双层异质结构模具，包括硅衬板，其特征在于：所述的硅衬板的上表层沿硅衬板轴向分布多列微米级凹槽组，并且每列所述的凹槽组包括若干等距排列的微米凹槽，相邻两列凹槽组轴向间距梯度渐增，凹槽组内微米凹槽间距的随凹槽组之间的间距增大而增大；整个所述的硅衬板上表面分布纳米级孔，所述的微米凹槽以及分布在微米凹槽表面的纳米级孔形成二级结构。
2.如权利要求1所述的双层异质结构模具，其特征在于：所述微米凹槽为内凹倒正四棱台。
3.根据权利要求2所述的双层异质结构模具，其特征在于：所述微米凹槽的倒四棱台边长为10～100微米。
4.根据权利要求1所述的双层异质结构模具，其特征在于：所述纳米级孔为内凹半球形结构。
5.根据权利要求4所述的双层异质结构模具，其特征在于：所述纳米级孔的半球直径为50～100纳米。
6.根据权利要求5所述的双层异质结构模具，其特征在于：所述的微米凹槽沿掩膜轴向列状排布，并且同一列微米凹槽等距排列，相邻两列微米凹槽轴向间距梯度渐增。
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