[实用新型]取晶车用晶棒支撑架

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶制造辅助设备，特别涉及一种取晶车用晶棒支撑架。

背景技术

单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶，所谓拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化，再用子晶向上拉引，慢慢形成一个长筒状的单晶棒，在单晶棒从单拉晶炉中出来的时候需要采用取晶车进行接送。

取晶车通常包括车架，在车架上会设置有接收晶棒的支撑架，所述支撑架呈长条状设置，在支撑架的底部设置有用于定位晶棒的支撑座，所述支撑架整体可以沿车架从平行于车架的方向旋转至垂直于车架方向，在支撑架垂直于车架的时候，所述车架上还设置有用于推动支撑架在垂直方向上升降的升降机构，在支撑架上升至与拉晶炉高度相仿处将晶棒承接住后，支撑架再退回至原位，在旋转至与车架平行的状态，通过外部的液压机械手将晶棒从支撑架内取出。

现有技术中，支撑架包括有一个用于容置晶棒的管状区域，所述支撑座位于管状区域的底部，支撑架整体结构比较单一，结构强度有限，不能很好的对于晶棒进行接取。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种取晶车用晶棒支撑架，提高了结构强度，对于益于对于晶棒的接取。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种取晶车用晶棒支撑架，包括有底座，所述底座相对间隔设置与底座平行的定位板，所述定位板与底座之间设置有多组连接组件，所述连接组件包括固定于底座上的座体以及固定于座体上的两根定位杆，所述定位杆一端固定于座体上另一端则固定于定位板上，所述座体沿底座的宽度方向布置且两个所述的定位杆沿座体的设置方向间隔布置，多组连接组件沿底座的长度方向间隔设置，所述相邻的连接组件设置有用于支撑晶棒的导向组件，所述座体与所有的连接组件之间形成了供晶棒放置的容置腔，所述座体的底部设置有用于支撑晶棒的支撑座。

进一步的，所述导向组件包括固定于底座上的轴承座以及定位于轴承座上的支撑辊，所述轴承座的布置方向与座体的设置方向相同，所述支撑辊中部呈圆弧状的内凹设置，所述支撑辊与晶棒的抵接面高于座体的高度。

进一步的，所述定位杆相对的端面均设置为内凹的圆弧面且所述圆弧面的尺寸与晶棒相配合。

进一步的，所述座体设置为焊接于底座上的槽钢。

进一步的，所述定位板朝向底座一侧端面上设置有若干缓冲垫，所述缓冲垫呈长条状设置，所述缓冲垫沿定位板的长度方向间隔排列。

进一步的，所述支撑座的轴心处设置有贯穿孔，所述支撑座的外圆面与贯穿孔之间设置有呈锥面设置的抵接面。

进一步的，所述定位板的长度短于座体的长度，所述座体于其长于定位板部分设置有若干U形杆，所述U形杆与座体之间形成供晶棒穿过的空间。

进一步的，所述U形杆与座体之间通过设置槽钢进行固定。

采用上述结构，当晶棒从拉晶炉中取出后，底座会翻转至与车架平行的状态，在这个过程中，晶棒对于底座的压力会比较大，连接组件包括有座体以及定位于座体上的两根定位杆，所述座体横置于底座上，所述座体设置为槽钢，多个座体沿底座的长度方向间隔排列，依次提高了底座整体的结构，另外通过定位杆将底座与定位板固定于一体，在整体的运动过程中，保持了底座的稳定性。

在相邻的连接组件之间还设置有导向组件，导向组件用于对晶棒的支撑，所述导向组件包括有轴承座以及定位于轴承座之间的支撑辊，所述支撑辊为了更好的与晶棒配合，在支撑辊的中间位置呈圆弧状的内凹设置，在晶棒进入到容置腔内时，一方面少减少晶棒与底座之间的摩擦，另一方面也可以更加的精准导向晶棒与支撑座相配合，同样的，支撑座的轴心处设置有贯穿孔，在贯穿孔与支撑座的外圆面之间还设置有用于抵接晶棒底部的锥面，以及定位杆相对的两端面均为圆弧面，这些设置均是为了保证对于晶棒的定位。

附图说明

图1是立体结构示意图；

图2是除去晶棒的结构示意图；

图3是支撑座的结构示意图。

图中，1、底座；2、定位板；3、连接组件；31、座体；32、定位杆；4、导向组件；41、支撑辊；42、轴承座；5、U形杆；6、支撑座；61、贯穿孔；62、抵接面；7、缓冲垫；8、容置腔。

具体实施方式