[实用新型]一种用于制作太阳能电池片的扩散炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扩散炉，具体的说是太阳能电池片制作流水线上的用于磷扩散进行制备PN结的扩散炉。

背景技术

扩散制作PN结是制作晶体硅太阳能电池片的核心工序，也是最终电池质量好坏的关键步骤。在扩散过程中，需对常压扩散炉内进行加热至840摄氏度左右的高温，同时把三氯化磷液体通过氮气携带喷入炉体内。在整个晶体硅太阳能电池片制作过程中，扩散工序需耗费大量的电力、三氯化磷液体和氮气，同时，在整个工序过程中，需要补充氮气，调节速度慢，设备之间的相互干扰多，硅片表面的成膜致密性较差，PN结深均匀度差，工艺时间长，产能较低，能耗较高，如果能减少电力、三氯化磷液体和氮气的用量，将使产品更具有竞争力。

实用新型内容

为克服上述缺陷，本实用新型旨在提供一种通过简单的改造，就能大大减少电力、三氯化磷液体和氮气的消耗，极大的减少制作成本的用于制作太阳能电池片的扩散炉。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种用于制作太阳能电池片的扩散炉，包括一个炉体，所述炉体内腔分别与一个进气管和出气管相连通，所述出气管与一台真空泵相连通，所述炉体的运料口具有一个真空密封门。

采用了本实用新型的扩散炉，在通入工艺气体后，再通过真空泵把炉体内部抽成真空状态，从而使得工艺气体和氮气的使用量大大减少，产能大大提高，同时产品质量还得到了有效的提高。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1-炉体，2-进气管，3-出气管，4-真空泵，5-真空密封门。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型公开了一种用于制作太阳能电池片的扩散炉，包括一个炉体1，所述炉体1内腔分别与一个进气管2和出气管3相连通，工作时，把放入硅片的石英舟放入炉体1内，然后再热到840度左右的高温，再通过进气管2通入工艺气体进行扩散。

本实用新型的创新点主要在于所述出气管3与一台真空泵4相连通，在通入工艺气体后，通过真空泵4把炉体1内部抽成真空低压状态，使硅片在真空状态下进行扩散，由于真空状态下，三氯化磷的雾化更充分，只需要在常规工艺用量的四分之一就能达到工艺要求，同时，氮气的用量了只需要常规工艺用量的五分之一，产能提高一倍左右，以四台扩散炉为例，每天可节省电费一万元左右，具有极高的经济效益。为保证炉体1内的真空低压状态，所述炉体1的运料口具有一个真空密封门5。