[实用新型]基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器有效
| 申请号： | 201720234569.3 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN206670783U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 徐方良;穆继亮;丑修建;石树正;胡磊;张辉;何剑;耿文平;侯晓娟;薛晨阳;张文栋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01H3/12 | 分类号： | G01H3/12;G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京彭丽芳知识产权代理有限公司11407 | 代理人： | 彭丽芳 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 压电效应 mems 球形 矢量 水听器 | ||
1.基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、PZT压电薄膜；所述球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上，所述环形连接体通过横梁连接于框型基座的中心处，每根横梁的外侧生长有PZT压电薄膜，PZT压电薄膜下面为下电极，且每根横梁的下电极与其它横梁以及框型基座上的电极相互独立；每个PZT压电薄膜上表面均溅射有相互独立的上电极。
2.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，横梁和环形连接体经ICP正面刻蚀以及DRIE背腔刻蚀加工而成；所述的PZT压电薄膜为通过溶胶-凝胶的方法制得厚度1μm厚的压电层。
3.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述的框型基座外边长5000μm，内边长3500μm；横梁长900μm，宽120μm，厚30μm。
4.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述环形连接体外径1700μm，内径1500μm，厚度30μm；球形振子直径为1500μm。
5.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述下电极为Pt/Ti层，所述上电极为Au层。
6.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述下电极、PZT压电薄膜、上电极Au长均为600μm，宽均为120μm，厚度分别为150nm、1μm、150nm。
7.如权利要求1所述的基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，所述球形聚乙烯拾振单元采用密度与水相同或接近球形聚乙烯。
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