[实用新型]一种高速往复运动的动密封装置

权利要求书

1.一种高速往复运动的动密封装置,用于密封具有粗糙表面的工件可高速往复运动穿过的真空室，其特征在于，包括：真空室、至少两个控制通道和至少两个动密封机构，其中，所述真空室的两侧分别连接有所述控制通道，所述至少两个动密封机构经所述控制通道分别与真空室的两侧连接；

其中，每个所述动密封机构包括：密封板和两个设有凹槽的橡胶辊，所述两个橡胶辊呈上下设置且两个辊体的外圆周面紧密接触，使两个凹槽形成与所述工件外形相匹配的通孔，用于使所述工件穿过所述通孔做往复运动；所述密封板位于所述橡胶辊的后侧，且在所述密封板前侧表面上的两端设有与所述凹槽紧密配合的凸缘，用于将所述密封板与橡胶辊进行固定密封，其后侧表面与所述控制通道相连，在所述密封板上设有一个与所述通孔的中轴线重合的工件孔，在所述密封板的前侧具有由两个橡胶辊外形弧形成的间隙通道，在所述间隙通道的左侧和右侧设置锥形板，所述锥形板与橡胶辊、密封板、凹槽、凸缘和工件形成密封舱，用于防止外界空气通过工件孔进入所述真空室。

2.根据权利要求1所述的高速往复运动的动密封装置，其特征在于，还包括：控制装置、工件驱动装置、间隙调节机构、马达和传动齿轮，其中，所述控制装置分别与控制通道、工件驱动装置、间隙调节机构和马达相连，所述工件驱动装置与所述工件相连，使所述工件的运动方向与所述橡胶辊和工件接触点的切线方向一致，并使所述工件的运动速度与所述橡胶辊和工件接触点的线速度相等；所述间隙调节机构分别与所述橡胶辊、工件、密封板和锥形板相连，用于分别调节所述橡胶辊与橡胶辊之间、橡胶辊与工件之间、橡胶辊与密封板之间、橡胶辊与锥形板之间的间隙，在所述橡胶辊的两端分别设有一个辊轴，所述辊轴通过传动齿轮与马达相连。

3.根据权利要求1所述的高速往复运动的动密封装置，其特征在于，所述凹槽位于所述橡胶辊的中部。

4.根据权利要求1所述的高速往复运动的动密封装置，其特征在于，所述锥形板的侧面为与所述橡胶辊外形弧相配合的弧形，用于与所述橡胶辊紧密接触，实现滑动密封。

5.根据权利要求1所述的高速往复运动的动密封装置，其特征在于，所述真空室两侧的控制通道内，分别设有开闭控制装置，当检测到所述控制通道内有所述工件时，开启所述开闭控制装置；当检测到所述控制通道内没有所述工件时，关闭所述开闭控制装置，防止气体进入所述真空室。