[实用新型]晶圆盒输送装载系统

权利要求书

1.一种晶圆盒输送装载系统，其特征在于，包括晶圆盒、输送装置和开盒装置，所述晶圆盒包括箱体和盒盖，所述箱体和所述盒盖为扣合连接，所述盒盖上设置有两个锁孔；

所述开盒装置包括主板、开盒板、开锁组件、第一驱动件和吸附组件，所述主板上设置有一开口，所述开盒板与所述开口配合，且所述开盒板位于所述主板的后侧，所述开盒板上活动连接两个与所述锁孔相对应的所述开锁组件，该两个所述开锁组件穿过所述开盒板与固定设置在所述开盒板后侧的所述第一驱动件传动连接，所述开盒板上还固定连接有两个与所述盒盖相对应的所述吸附组件；

所述输送装置包括承载机构，平移机构和输送机构，所述晶圆盒放置在所述承载机构上，所述承载机构设置在所述平移机构上，所述平移机构设置在所述输送机构上，所述输送机构带动所述承载机构移动到所述主板前侧后，所述平移机构带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移，进而实现所述晶圆盒与所述开盒板的配合。

2.如权利要求1所述的晶圆盒输送装载系统，其特征在于，还包括盒盖传输机构，所述盒盖传输机构包括第一传输机构和第二传输机构；

所述第一传输机构包括第二驱动件、第三驱动件、第一导向件、第二导向件、第一承载件和第二承载件，所述第一导向件的轴线垂直于所述主板，所述开盒板和所述第一承载件之间通过所述第一导向件连接，使所述开盒板和所述第一承载件相互滑动，所述第二驱动件能够带动所述开盒板沿着所述第一导向件的轴线方向移动，所述第一承载件和所述第二承载件之间通过所述第二导向件连接，使所述第一承载件和所述第二承载件相互滑动，所述第三驱动件能够带动所述第一承载件沿所述第二导向件的轴线方向移动，其中，所述第二导向件的轴线和所述第一导向件轴线平行；

所述第二传输机构包括第四驱动件和第三导向件，所述第三导向件的轴线和所述第一导向件的相互垂直，且所述第三导向件沿着所述主板纵向方向放置，所述第二承载件和所述主板之间通过所述第三导向件连接，使所述第二承载件和所述主板相互滑动，所述第四驱动件能够带动所述第一承载件和/或所述第二承载件沿所述第三导向件的轴线方向移动。

3.如权利要求2所述的晶圆盒输送装载系统，其特征在于，所述开盒板后侧设置有罩壳，所述罩壳通过支杆连接所述第一导向件，所述第一导向件为导轨，导轨的数量为两个，第二驱动件为气缸，气缸的输出轴连接所述支杆。

4.如权利要求2所述的晶圆盒输送装载系统，其特征在于，所述第二导向件为导轨，导轨的数量为两个，所述第三驱动件为气缸，气缸的输出轴连接所述第一承载件。

5.如权利要求2所述的晶圆盒输送装载系统，其特征在于，所述第三导向件为导轨，且导轨的数量为两个；

所述第四驱动件为电机，所述第四驱动件固定在主板后侧，所述第四驱动件皮带传动连接有一丝杠，所述丝杠的轴线和所述第三导向件轴线平行，所述丝杠也固定在所述主板后侧，该所述丝杠上螺纹连接有一导向块，所述导向块连接所述第一承载件。

6.如权利要求2所述的晶圆盒输送装载系统，其特征在于，所述第一导向件、所述第二导向件和所述第三导向件可分别为滑条和滑槽配合的结构，或者导向杆和导向孔配合的结构。

7.如权利要求1所述的晶圆盒输送装载系统，其特征在于，还包括两个锁定机构，用于对所述开盒板的位置进行锁定，该两个所述锁定机构位于所述开口的上侧，且位于所述主板的后侧；

所述锁定机构包括第五驱动件和活动件，所述第五驱动件为气缸，气缸的输出轴与所述活动件铰接，所述活动件还与所述主板铰接。

8.如权利要求1所述的晶圆盒输送装载系统，其特征在于，所述主板的前侧还设置有一与所述承载机构配合的限位槽，所述限位槽上可设置有一对惰性气体充气、排气气嘴，所述承载机构安装有一对与之配套的充气、排气孔。

9.如权利要求2所述的晶圆盒输送装载系统，其特征在于，所述第一轴方向、所述第二轴方向和所述第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系或空间笛卡尔斜角坐标系。

10.如权利要求9所述的晶圆盒输送装载系统，其特征在于，所述第一轴方向、所述第二轴方向和所述第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系；

其中，当所述晶圆盒与所述开盒板的配合配合时，所述第一轴方向与所述第一导向件的轴线平行，所述第三轴方向与所述第三导向件的轴线平行，所述第二轴方向分别与所述第一轴方向和所述第三轴方向垂直。