[实用新型]一种防止颗粒积累堵塞的联结结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺废气处理领域，特别涉及一种防止颗粒积累堵塞的联结结构。

背景技术

联结结构即利用不同方式把机械零件联成一体的结构，机器设备由许多零部件组成，这些零部件需要通过联结来实现机器设备的职能，因而联结是构成机器设备的重要环节，一般的联结结构只起到联结零件的功能。

目前，在半导体工艺废气处理装置中，由于处理的工艺气体性质的原因，往往容易造成在装置的内壁上形成颗粒积累，继而造成装置内腔被堵塞的情况，并且，废气在经过处理后，温度很高，直接排出的话将会对下一级装置造成破坏。

因此，现有技术中急需一种能防止颗粒在装置内壁积累、降低处理气体温度的联结结构。

实用新型内容

本实用新型提供了一种防止颗粒积累堵塞的联结结构，技术方案如下：

一种防止颗粒积累堵塞的联结结构，其特征在于，包括内管和外管，内管的内径小于外管的内径，内管套在外管里，外管的下部设置有与内管内径相同的圆环，该圆环起到封闭的作用，内管焊接在圆环上，起到连接内管和外管的作用，外管上设置有涡流发生器，内管上设置有气体降温结构。涡流发生器为设置在外管上的4个互成90度的管口，各管口之间的距离相等，这4个管口分别连接4根水管，水管中通入循环水。气体降温结构为设置在内管上的8个通孔，各通孔之间的距离相等，该8个通孔均垂直于内管管壁，分别连接在自来水水管上，用于对气体降温。外管上部设置有第一法兰，用于联结设备上级处理器，内管下部设置有第二法兰，用于联结设备下级处理器。内管和外管为合金材料，该合金材料耐高温、耐腐蚀。第一法兰和第二法兰为不锈钢。

本实用新型的优点和积极效果在于：

1、设置有涡流发生器，防止颗粒在装置内壁积累。

2、用循环水形成涡流，避免水资源的浪费。

3、设置有气体降温结构，通入自来水，在极短时间内使处理气体温度骤降。

4、内管和外管均为合金材料，耐腐蚀、耐高温。

5、8孔喷射形成的水幕大大增加了目标气体与水的接触面积，从而使得单位体积的水可溶入更多的气体，提高了水利用率，降低设备的耗水量，同时提高了设备的处理效率，使处理气体温度骤降的功能，最大程度地保证了设备的可靠性，保证了前级生产设备的生产效率，大大降低了设备的PM频率。

6、结构简单，方便实用，可操作性强。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型：

图1是本实用新型一种防止颗粒积累堵塞的联结结构的结构示意图；

图2是本实用新型一种防止颗粒积累堵塞的联结结构的俯视图。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种防止颗粒积累堵塞的联结结构，解决了在半导体工艺废气处理领域中，急需一种能防止颗粒在装置内壁积累、降低处理气体温度的联结结构的问题。

为了使本实用新型技术实现的措施、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图1和图2所示，本实用新型提供了一种防止颗粒积累堵塞的联结结构，包括内管1和外管2，内管1的内径小于外管2的内径，内管1套在外管2里，外管2的下部设置有与内管1内径相同的圆环3，该圆环3起到封闭的作用，内管1焊接在圆环3上，起到连接内管1和外管2的作用，外管2上设置有涡流发生器4，内管1上设置有气体降温结构5。涡流发生器4为设置在外管2上的4个互成90°的管口，各管口之间的距离相等，这4个管口分别连接4根水管，水管中通入循环水。气体降温结构5为设置在内管1上的8个通孔，各通孔之间的距离相等，该8个通孔均垂直于内管1管壁，分别连接在自来水水管上，用于对气体降温。外管2上部设置有第一法兰6，用于联结设备上级处理器，内管1下部设置有第二法兰7，用于联结设备下级处理器。内管1和外管2为合金材料，该合金材料耐高温、耐腐蚀。第一法兰6和第二法兰7为不锈钢。