[实用新型]纳米氧化锌连续式制备装置有效

专利信息
申请号: 201720246433.4 申请日: 2017-03-14
公开(公告)号: CN206645831U 公开(公告)日: 2017-11-17
发明(设计)人: 陈明山 申请(专利权)人: 福建中翔纳米科技有限公司
主分类号: C01G9/02 分类号: C01G9/02;B82Y30/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 365000 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 纳米 氧化锌 连续 制备 装置
【权利要求书】:

1.纳米氧化锌连续式制备装置,其特征在于:包括纳米氧化锌晶体生长衬底制作槽(1)、喷雾装置(2)、机械手(3)、气动爪(4)、纳米氧化锌高压反应釜(5)、马弗炉(6)和自动控制器(7),所述喷雾装置(2)通过支架固定安装在纳米氧化锌晶体生长衬底制作槽(1)的顶部,所述机械手(3)设置在纳米氧化锌晶体生长衬底制作槽(1)一侧,且机械手(3)的活动范围覆盖纳米氧化锌晶体生长衬底制作槽(1),所述纳米氧化锌高压反应釜(5)设有A电动盖(5-1),所述马弗炉(6)设有B电动盖(6-1),所述纳米氧化锌高压反应釜(5)和马弗炉(6)分别设置在机械手(3)的两侧,且位于机械手(3)的活动臂的活动范围内,所述自动控制器(7)分别与喷雾装置(2)、A电动盖(5-1)、B电动盖(6-1)、机械手(3)和气动爪(4)的执行器控制相连。

2.根据权利要求1所述纳米氧化锌连续式制备装置,其特征在于:还有一组温度传感器(8),所述一组温度传感器(8)分别监测米氧化锌晶体生长衬底制作槽(1)、纳米氧化锌高压反应釜(5)和马弗炉(6)的温度,并与自动控制器(7)通信相连。

3.根据权利要求1所述纳米氧化锌连续式制备装置,其特征在于:所述自动控制器(7)是基于PLC的自动控制器,所述自动控制器(7)上设有计时单元、机械手控制单元和测温单元。

4.根据权利要求1所述纳米氧化锌连续式制备装置,其特征在于:所述机械手(3)是五轴伺服机械手。

5.根据权利要求1所述纳米氧化锌连续式制备装置,其特征在于:还有监控摄像头(9),所述监控摄像头(9)监测纳米氧化锌各生产设备的工作情况。

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