[实用新型]微小球体圆度非接触测量的工件装夹装置

权利要求书

1.一种微小球体圆度非接触测量的工件装夹装置，包括夹具柱头，所述夹具柱头的下部安装在旋转三爪卡盘上，所述夹具柱头的顶部开有用于放置待测微小球体的工位槽，所述工位槽的侧边设有激光探头，其特征在于：所述夹具柱头设有中心通孔，所述中心通孔的上部与所述工位槽底部相通，所述中心通孔下部出口通过导气管与气泵连接，所述气泵设有气泵压力开关，当压力达到气泵压力开关的设定值时，放置在工位槽的待测微小球体与中心通孔空腔形成负压状态使得待测微小球体压紧在所述工位槽内。

2.如权利要求1所述的微小球体圆度非接触测量的工件装夹装置，其特征在于：所述夹具柱头包括上柱头和下柱体，所述上柱头开有上中心通孔，所述上柱头的顶端面中心开有工位槽，所述上柱头的底部与所述下柱体密封连接；所述下柱体开有下中心通孔，所述上中心通孔与下中心通孔连通，所述下柱体设有下部出口，所述下柱体的底部安装在所述旋转三爪卡盘上。

3.如权利要求2所述的微小球体圆度非接触测量的工件装夹装置，其特征在于：所述上柱头的底部设有内螺纹，所述上柱头的顶部设有用于连接上柱头的外螺纹，所述下柱体的底部设有内连接螺纹，内连接螺纹内密封安装用于密封下中心通孔的连接螺钉。

4.如权利要求2所述的微小球体圆度非接触测量的工件装夹装置，其特征在于：所述气泵安装在旋转三爪卡盘上，所述气泵的电源线安装在导电滑环上，所述导电滑环安装在下柱体上。

5.如权利要求1或2所述的微小球体圆度非接触测量的工件装夹装置，其特征在于：所述工位槽为锥形凹槽。