[实用新型]一种升降机构及化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种升降机构，所述升降机构用于控制一托盘的上下高度调整，所述托盘位于一带有孔的基板之上，其特征在于，所述升降机构包括：

升降销，所述升降销穿过所述孔；

升降板，所述升降板位于所述基板的下方，当所述升降板上升时，所述升降板顶着所述升降销向上运动，所述托盘被所述升降销向上顶起；以及

制动装置，所述制动装置在所述升降板下降时，对所述升降销产生一向下的拉力。

2.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述基板上设置有至少两个孔，所述孔均匀对称分布在所述基板上，所述升降销的数量与所述孔的数量相匹配。

3.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述制动装置包括至少一个弹簧和至少一个固定件。

4.如权利要求3所述的升降机构，其特征在于，所述弹簧的一端通过所述固定件连接在所述基板的背部，所述弹簧的另一端与所述升降销相连。

5.如权利要求3所述的升降机构，其特征在于，所述弹簧为锥形弹簧。

6.如权利要求5所述的升降机构，其特征在于，所述锥形弹簧的尖端与所述升降销连接，所述锥形弹簧的另一端连接所述基板的背部。

7.如权利要求3所述的升降机构，其特征在于，所述弹簧的数量与所述升降销的数量相匹配。

8.如权利要求7所述的升降机构，其特征在于，每一个所述弹簧配置一个所述固定件。

9.如权利要求8所述的升降机构，其特征在于，所述固定件设置于所述基板的背部，且所述固定件分别位于每一个所述孔的周围。

10.如权利要求9所述的升降机构，其特征在于，每一个所述弹簧的一端通过一个所述固定件连接在所述基板的背部，每一个所述弹簧的另一端连接一个所述升降销。

11.如权利要求3所述的升降机构，其特征在于，每一个所述升降销上均设置一用于连接所述弹簧的安装孔。

12.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括一控制系统，所述控制系统连接所述升降板，所述控制系统控制所述升降板的上升或者下降。

13.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述升降销的横截面形状与所述孔的横截面形状相匹配。

14.如权利要求13所述的升降机构，其特征在于，所述孔和所述升降销的横截面形状均为圆形。

15.如权利要求1至14中任意一项所述的升降机构，其特征在于，所述孔的侧壁设置有锯齿，所述锯齿引导所述升降销向下运动。

16.一种化学气相沉积装置，其特征在于，包括如权利要求1至15中任意一项所述的升降机构。

17.如权利要求16所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述化学气相沉积装置中，所述托盘为一晶圆托盘，所述基板为一加热基板，所述加热基板用于加热所述晶圆托盘。

18.如权利要求17所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述加热基板上设置有均匀对称分布的4个所述孔。