[实用新型]一种真空烤盘炉控制系统

权利要求书

1.一种真空烤盘炉控制系统，其特征在于，包括

连接真空烤盘炉的预装室，与预装室连接的手套室；

连接真空烤盘炉的主抽阀，该主抽阀的前端管路上设置有压力计，其后端的管路上依次设置有鲁式泵和机械泵；

连接真空烤盘炉的尾料处理系统，该尾料处理系统包括颗粒过滤器、端阀、动力泵以及多级过滤网，所述颗粒过滤器与真空烤盘炉之间设置有依次连接的第一球阀和第二球阀，所述颗粒过滤器通过第三球阀与端阀连接，所述端阀连接动力泵，所述动力泵的后端设置有多级过滤网。

2.根据权利要求1所述的真空烤盘炉控制系统，其特征在于，所述真空烤盘炉的上端分别设置有充气阀、备压阀以及分压阀，所述充气阀、备压阀以及分压阀构成气氛控制系统。

3.根据权利要求1所述的真空烤盘炉控制系统，其特征在于，所述颗粒过滤器包括两个并联的颗粒过滤器，一用一备。