[实用新型]一种等离子材料改性设备的活动电极

说明书

技术领域

本实用新型涉及等离子材料改性设备的活动电极领域，特别是涉及一种等离子材料改性设备的活动电极。

背景技术

活动电极是专指工作中需加入专用工作气体的等离子设备放电电源接入装置，如等离子清洗机、等离子材料表面改性设备等设备的放电电源接入装置。目前市场上能看到的上述设备基本都是单腔的(只有一个真空舱的)，没有活动电极，其放电电源的接入就是在接入端子上把连接线锁紧即可，但是，这种单腔等离子设备放电电源的接入方法在双腔或多腔等离子设备放电电源的接入上无法使用，针对上述情况，可以设计一种等离子材料改性设备的活动电极来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种等离子材料改性设备的活动电极。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种等离子材料改性设备的活动电极，包括双杆气缸，所述双杆气缸下端设置有绝缘座，所述绝缘座包括上绝缘座和下绝缘座，所述上绝缘座和所述下绝缘座之间设置有上电极片，所述下绝缘座内侧中部镶嵌有导电铜柱，所述导电铜柱上端设置有定位柱，所述导电铜柱下端设置有刷状电极。

为了进一步提高等离子材料改性设备的活动电极的实用性，所述上绝缘座和所述下绝缘座通过螺栓紧固连接，其中，所述上绝缘座上端面开设有一用于安装所述双杆气缸活塞的凹部，所述凹部大小与所述双杆气缸活塞大小相等，所述双杆气缸通过所述凹部与所述上绝缘座固定连接。

为了进一步提高等离子材料改性设备的活动电极的实用性，所述上电极片上开设有用于安装所述定位柱的定位孔和用于连接等离子放电电源的连接孔。

为了进一步提高等离子材料改性设备的活动电极的实用性，所述定位柱与所述导电铜柱为一体结构。

为了进一步提高等离子材料改性设备的活动电极的实用性，所述导电铜柱下表面开设有一凹槽，所述凹槽为长方形槽，所述刷状电极镶嵌在所述凹槽内，且所述刷状电极下端伸出所述凹槽至所述导电铜柱正下方。

为了进一步提高等离子材料改性设备的活动电极的实用性，所述刷状电极由至少一根铜丝组成。

有益效果在于：该活动电极可以给两个交替工作的真空舱可靠地馈入高频、高压的放电电源，足以胜任所有的工频场合工作，极具推广应用价值。

附图说明

图1是本实用新型所述一种等离子材料改性设备的活动电极的结构示意图；

图2是本实用新型所述一种等离子材料改性设备的活动电极的局部放大图；

图3是本实用新型所述一种等离子材料改性设备的活动电极的上电极片的结构示意图。

附图标记说明如下：

1、双杆气缸；2、上绝缘座；3、上电极片；4、刷状电极；5、导电铜柱；6、下绝缘座；7、定位柱；8、定位孔；9、连接孔；10、凹槽；11、凹部。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1-图3所示，一种等离子材料改性设备的活动电极，包括双杆气缸1，双杆气缸1主要用于控制刷状电极4上下移动，当某个真空舱移入工作位抽完真空后，系统电脑会自动控制双杆气缸1下压，使刷状电极4与真空舱舱顶极盘保持良好的电气接触，待放电完毕电脑控制双杆气缸1复位，双杆气缸1下端设置有绝缘座，绝缘座既能保证双杆气缸1与刷状电极4之间的机械连接强度，又能保证双杆气缸1与刷状电极4之间的电气绝缘强度，绝缘座由机械性能优良，电气绝缘强度高的3240玻纤树脂材料加工而成，绝缘座包括上绝缘座2和下绝缘座6，上绝缘座2和下绝缘座6之间设置有上电极片3，上电极片3由2mm的铜片制作而成，用于等离子放电电源与刷状电极4之间的电气连接，下绝缘座6内侧中部镶嵌有导电铜柱5，导电铜柱5用于固定刷状电极4，使用时将众多的铜丝放入导电铜柱5的凹槽10内再由专用的液压爪把两者收紧即可，导电铜柱5上端设置有定位柱7，导电铜柱5下端设置有刷状电极4，采用刷状结构的电极主要是保证在动态状况下电气的良好接触。

为了进一步提高等离子材料改性设备的活动电极的实用性，上绝缘座2和下绝缘座6通过螺栓紧固连接，其中，上绝缘座2上端面开设有一用于安装双杆气缸1活塞的凹部11，凹部11大小与双杆气缸1活塞大小相等，双杆气缸1通过凹部11与上绝缘座2固定连接，上电极片3上开设有用于安装定位柱7的定位孔8和用于连接等离子放电电源的连接孔9，定位柱7与导电铜柱5为一体结构，导电铜柱5下表面开设有一凹槽10，凹槽10为长方形槽，刷状电极4镶嵌在凹槽10内，且刷状电极4下端伸出凹槽10至导电铜柱5正下方，刷状电极4由若干细铜丝组成。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。