[实用新型]一种上电极组件

权利要求书

1.一种上电极组件，包括设置有上电极的腔体以及用于为所述腔体降温用的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置包括冷却介质道以及设置于所述冷却介质道两端的冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却介质道为连续多圈管道式，且围绕所述腔体外表面设置。

2.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却介质道呈螺旋状环绕在所述腔体从顶端至底端的外表面。

3.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述腔体包括腔室以及设于所述腔室外围的腔室外罩，所述冷却介质道采用金属材料形成，所述冷却介质道设置于所述腔室外罩外表面。

4.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述腔体包括腔室以及设于所述腔室外围的腔室外罩，所述冷却介质道采用陶瓷材料形成，所述冷却介质道设置于所述腔室外表面。

5.根据权利要求3或4所述的上电极组件，其特征在于，所述腔室采用陶瓷材料形成，所述腔室外罩采用陶瓷材料形成。

6.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却介质道的截面形状为圆形；或者，所述冷却介质道的截面形状为椭圆形，且长轴方向的所述冷却介质道部分贴近所述腔体。

7.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却介质入口与所述冷却介质出口分别位于所述腔体的相对两侧；所述冷却介质入口与所述冷却介质出口具有一定高度差或位于同一水平直线。

8.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却装置还包括上冷却介质环和/或下冷却介质环，所述上冷却介质环和所述下冷却介质环与所述冷却介质道具有相同的冷却介质入口和冷却介质出口。

9.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却装置还包括上冷却介质环和/或下冷却介质环，所述上冷却介质环和所述下冷却介质环与所述冷却介质道具有不同的冷却介质入口和冷却介质出口。

10.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却介质为液体。