[实用新型]一种分子束外延生产设备中的2吋、3吋衬底托板结构有效
| 申请号： | 201720266910.3 | 申请日： | 2017-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN206692776U8 | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杜全钢;谢小刚;李维刚;冯巍;姜炜;郭永平;蒋健 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 沈波 |
| 地址： | 215151 江苏省苏州市苏州高新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底托板 转换托板 单元孔 台阶型 本实用新型 分子束外延 生产设备 托板结构 优化设计 边角料 外延片 衬底 孔数 生产成本 生长 加工 | ||
【说明书】：
本实用新型公开了一种分子束外延生产设备中的2吋、3吋衬底托板结构，该托板结构包括3吋衬底托板、台阶型单元孔和2吋到3吋转换托板；16个台阶型单元孔均匀分布在3吋衬底托板内，2吋到3吋转换托板放置在3吋衬底的台阶型单元孔内；本实用新型中通过优化设计使3吋衬底托板孔数由15变为16个，增加了产出额。通过对边角料的加工利用设计出2吋到3吋转换托板，置于3吋衬底托板孔中，达到利用3吋衬底托板生长2吋外延片的目的。从而大幅降低了生产成本，提高了产品的竞争力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新磊半导体科技（苏州）有限公司，未经新磊半导体科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720266910.3/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于温度梯度工艺生长蓝宝石的坩埚套件
- 下一篇：一种纺织用水洗装置
