[实用新型]一种四路ESD防护的TVS二极管有效
| 申请号： | 201720267537.3 | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN206742246U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 徐远;曹德祥 | 申请（专利权）人： | 苏州矽航半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 董建林,胡益萍 |
| 地址： | 215011 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 四路 esd 防护 tvs 二极管 | ||
1.一种四路ESD防护的TVS二极管，其特征在于，包括：
P+衬底；
第一N型外延层，形成于所述P+衬底上；
P+埋层区，形成于所述第一N型外延层中；
第二N型外延层，形成于所述第一N型外延层上；
N+埋层区，形成于所述第二N型外延层中并延伸至所述第一N型外延层中；
至少一个P+注入区，形成于所述第二N型外延层中；
至少一个第一N+注入区，形成于所述第二N型外延层中；
多个沟槽，每个所述沟槽均穿过所述第二N型外延层并延伸至所述第一N型外延层中；
氧化层，形成于所述第二N型外延层上；
金属层，形成于所述氧化层上；
背金层，形成于所述P+衬底背面。
2.根据权利要求1所述的一种四路ESD防护的TVS二极管，其特征在于：所述P+衬底的电阻率为0.014-0.020ohm.cm。
3.根据权利要求1所述的一种四路ESD防护的TVS二极管，其特征在于：所述第一N型外延层的电阻率为15ohm.cm，所述第一N型外延层的厚度为7μm。
4.根据权利要求1所述的一种四路ESD防护的TVS二极管，其特征在于：所述第二N型外延层的电阻率为30ohm.cm，所述第二N型外延层的厚度为5μm。
5.根据权利要求1所述的一种四路ESD防护的TVS二极管，其特征在于：所述沟槽的深度为7μm。
6.根据权利要求1所述的一种四路ESD防护的TVS二极管，其特征在于：所述氧化层的厚度为1.2μm。
7.根据权利要求1所述的一种四路ESD防护的TVS二极管，其特征在于：所述金属层的厚度为3μm。
8.根据权利要求1所述的一种四路ESD防护的TVS二极管，其特征在于：还包括至少一个第二N+注入区，形成于所述第二N型外延层中。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州矽航半导体有限公司，未经苏州矽航半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720267537.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种双向对称的TVS二极管
- 下一篇：一种具有高反射率的光伏背板用膜
- 同类专利
- 专利分类
