[实用新型]一种用于平面靶材绑定的加热平台

说明书

技术领域

本实用新型属于靶材绑定技术领域，具体涉及一种用于平面靶材绑定的加热平台。

背景技术

目前对于平面靶材的绑定，采用的方式是一个简单的加热平台，然后采用超声棒涂铟，最后采用压块给靶材施加压力，是靶材和背板黏结起来，整个流程在大气的环境下操作。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种用于平面靶材绑定的加热平台.

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

本实用新型实施例提供一种用于平面靶材绑定的加热平台，包括通过铰接的上气室和下气室，所述上气室内设置有硅胶模及电磁放气阀，所述下气室内设置有绑定加热台，所述绑定加热台内均匀布设有若干个加热棒，所述下气室连接有电磁进气阀及真空泵连接口，真空泵通过管道连接到真空泵连接口上。

上述方案中，所述所述绑定加热台的底部设置有超声振子。

上述方案中，所述绑定加热台上还设置有热电偶。

上述方案中，所述下气室还设置有真空度显示计。

上述方案中，所述上气室的一侧设置有放气电磁阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型通过真空贴合防止铟表面氧化影响贴合效果，有效的防止靶材的脱落；采用柔性硅胶板利用压差加压有利于保护靶材及不易产生贴合错位；超声震动便于铟涂布均匀，真空绑定可以避免气泡的产生。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供一种用于平面靶材绑定的加热平台的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型实施例提供一种用于平面靶材绑定的加热平台，如图1所示，包括通过铰接的上气室1和下气室2，所述上气室1内设置有硅胶模101及电磁放气阀，所述下气室2内设置有绑定加热台201，所述绑定加热台201内均匀布设有若干个加热棒202，所述下气室2连接有电磁进气阀3及真空泵连接口4，真空泵通过管道连接到真空泵连接口4上。

所述所述绑定加热台201的底部设置有超声振子203。

所述绑定加热台201上还设置有热电偶204。

所述下气室2还设置有真空度显示计。

所述上气室1和下气室2通过铰链连接，以开盖的方式打开。

所述上气室1的一侧设置有放气电磁阀102。

本实用新型靶材绑定的流程：

把要绑定的靶材、铟片及基板放入下气室2的绑定加热台201上并且固定，然后盖上气室1，打开上气室1的电磁放气阀，然后关闭下气室2的电磁放气阀4，开启真空泵对下气室2进行抽气，待真空度显示计的真空度到达一定的数值时，关闭真空泵，然后开启加热棒202电源，开始对绑定加热台201进行加热，当绑定加热台201温度达到220度后，开启超声振子203的电源，使靶才及背板中铟片充分均匀的黏附，同时继续开启真空泵对下气室2进行抽气，几分钟后，关闭真空泵，关闭超声振子203的电源，关闭加热棒202的电源，待温度下降到一定数值后，打开下气室2的电磁放气阀4，充入大气，掀起上气室1，取出黏结好的靶材，整个靶材绑定流程结束。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。