[实用新型]陶瓷管壳剥离清理设备有效

专利信息
申请号: 201720268755.9 申请日: 2017-03-17
公开(公告)号: CN206546814U 公开(公告)日: 2017-10-10
发明(设计)人: 刘琦;贾伶俐 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海光华专利事务所31219 代理人: 余明伟
地址: 100176 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 陶瓷 管壳 剥离 清理 设备
【权利要求书】:

1.一种陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,包括:

第一机箱,所述第一机箱包括第一机箱本体、位于所述第一机箱本体表面的辅助台面、设置于所述辅助台面上的加热模块,其中,所述加热模块上设置有若干与真空泵连通的真空吸孔;

第二机箱,所述第二机箱内设置有吸纳装置;

其中,所述第一机箱与所述第二机箱盖合时形成内部腔体,所述辅助台面及所述加热模块位于所述内部腔体内,且所述内部腔体与所述吸纳装置相连通。

2.根据权利要求1所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,还包括机箱底座,所述机箱底座通过支架立柱与所述第一机箱相连接,其中,所述支架立柱与所述第一机箱之间的连接方式为转动连接。

3.根据权利要求1所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述加热模块包括若干列加热单元,所述真空吸孔设置于所述加热单元上。

4.根据权利要求3所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述加热单元一端设置有导引槽,另一端设置有档块。

5.根据权利要求3所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述加热单元一端设置有导引槽,所述辅助台面上设置有一挡板,所述挡板与所有所述加热单元的另一端相连接。

6.根据权利要求4或5所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述第二机箱的一端通过转轴与所述第一机箱的一端相连接,其中,所述导引槽位于所述加热单元远离所述转轴的一端。

7.根据权利要求3所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述内部腔体中还包括滚刷组件及电机,所述滚刷组件及电机设置于所述第二机箱上,所述电机与所述滚刷组件相连接用于驱动所述滚刷组件。

8.根据权利要求7所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述滚刷组件包括若干滚刷单元,所述滚刷单元的数量与所述加热单元的数量相同,且与所述加热单元上下对应设置。

9.根据权利要求1所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述吸纳装置为吸纳腔,还包括:

吸入阀门,位于所述吸纳腔与所述内部腔体之间,且设置于所述第二机箱上,所述吸纳腔通过所述吸入阀门与所述内部腔体相连通;

滤网,设置于所述吸纳腔内,且至少覆盖所述吸入阀门;

烟气排出管路,设置于所述第二机箱上,与所述吸纳腔相连通。

10.根据权利要求1所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述第一机箱与所述第二机箱侧面设置有把手及锁紧装置,其中,所述把手用于盖合所述第一机箱及所述第二机箱,所述锁紧装置用于锁紧所述第一机箱及所述第二机箱。

11.根据权利要求1所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述辅助台面的长度为30cm~50cm,宽度为15cm~35cm。

12.根据权利要求1所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,所述机箱底座上设置有真空管,所述真空管连通所述真空吸孔与所述真空泵。

13.根据权利要求1所述的陶瓷管壳剥离清理设备,其特征在于,还包括控制装置,设置于所述第一机箱本体侧面,所述控制装置至少包括总开关、真空开关、流程启动开关以及升温开关,

其中,所述总开关与设置于所述机箱底座的电源线相连接,用于控制所述陶瓷管壳剥离清理设备的上电启动;所述真空开关用于控制所述真空吸孔工作;所述流程启动开关用于控制剥离清理流程启动;所述升温开关用于控制所述加热模块工作。

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