[实用新型]一种蓝宝石大尺寸晶片三角支架测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测量用三脚支架，特别是一种蓝宝石大尺寸晶片三角支架测量装置。

背景技术

目前，蓝宝石衬底行业主流仍然是2寸晶片的生产，在生产过程中，使用的都是针对2寸晶片而设计的条形支架测量装置。

针对蓝宝石大尺寸晶片的测量，一般仍采用2寸晶片条形支架进行测量，由于大尺寸晶片面积较大，在使用传统支架测量，存在两点风险：1、无法使测量支架的3个固定脚在陶瓷盘上校零，造成测量值有误差；2、因传统支架有一固定脚在晶片表面上，易造成晶片划伤或崩边。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出了一种蓝宝石大尺寸晶片三角支架测量装置。

为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是:

一种蓝宝石大尺寸晶片三角支架测量装置，包括三角测量支架，其特征在于，所述三角测量支架呈圆角三角形，其所呈的圆角三角形为圆角等腰三角形，中轴线为L-L，三角测量支架包括2个外侧边、1个外底边、1个顶角外弧边和2个底角外弧边，三角测量支架的中部设有镂孔，所述镂孔呈圆角等边三角形，包括2个内侧边、1个内底边、1个顶角内弧边和2个底角内弧边；

所述外侧边与外底边所呈的夹角为α1，所述α1为65°；所述内侧边与内底边所呈的夹角为α2，所述α2为60°；所述顶角外弧边呈圆弧形，其所呈的圆弧形所对应的圆心角为β1，所述β1为155°；所述底角外弧边呈圆弧形，其所呈的圆弧形所对应的圆心角为β2，所述β2为115°；所述顶角内弧边呈圆弧形，其所呈的圆弧形所对应的圆心角为β3，所述β3为120°；所述底角内弧边呈圆弧形，其所呈的圆弧形所对应的圆心角为β3=120°；

所述顶角外弧边和底角外弧边所呈的圆弧形的半径均为R1，所述R1为15mm，所述顶角内弧边和底角内弧边所呈的圆弧形的半径均为R2，所述R2为5mm；

所述三角测量支架上还设有3个用于安装支撑脚的连接孔，所述3个连接孔均为圆形孔，其半径均为R3，所述R3为4mm，3个连接孔包括1个顶角连接孔和2个底角连接孔，所述顶角连接孔的圆心与顶角内弧边的垂直距离为H1，所述H1为35mm，所述底角连接孔与外底边的垂直距离为H2，与中轴线L-L的垂直距离为H3，所述H2为25mm，H3为50mm；

所述三角测量支架上还设有测量孔，所述测量孔为圆形孔，其半径均为R4，所述R4为4mm，测量孔的圆心与顶角连接孔的圆心的直线距离为H4，所述H4为117mm，测量孔的圆心与外底边的垂直距离为H5，所述H5为6mm；

进一步的，所述2个底角连接孔关于中轴线L-L呈轴对称设置；

进一步的，所述顶角连接孔的圆心位于中轴线L-L上；

进一步的，所述外底边的长度为L1，所述0.5*L1=53mm；

进一步的，所述内底边的长度为L2，所述0.5*L2=36mm。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提出的一种蓝宝石大尺寸晶片三角支架测量装置，采用三角设计，为三角测量支架，三角测量支架呈轴对称的圆角等腰三角形，上设三点支撑用的连接孔和测量孔，本实用新型结构简单，设计合理，采用不锈钢材质制成，稳定性好，不易变形，三点支撑用于确定测量平面，为量表校正提供支撑，测量孔预留，用于测量晶片厚度，同时，由于三角测量支架是基于陶瓷盘表面校零，3个支撑脚只与陶瓷盘表面接触，不会碰到晶片表面及边缘，故不会造成晶片的划伤或崩边。

附图说明

图1本实用新型示意图。

具体实施方式

如图所示的一种蓝宝石大尺寸晶片三角支架测量装置，包括采用不锈钢材质制成的三角测量支架1，其特征在于，所述三角测量支架1呈圆角三角形，其所呈的圆角三角形为圆角等腰三角形，中轴线为L-L，三角测量支架1包括2个外侧边2、1个外底边3、1个顶角外弧边4和2个底角外弧边5，三角测量支架1的中部设有镂孔6，所述镂孔6呈圆角等边三角形，包括2个内侧边7、1个内底边8、1个顶角内弧边9和2个底角内弧边10；