[实用新型]基于单晶硅差压传感器的静力水准仪

权利要求书

1.一种基于单晶硅差压传感器的静力水准仪，包括上外壳(1)、下外壳(2)和膜盒式单晶硅差压传感器(3)，所述上外壳(1)和下外壳(2)通过螺柱固定连接之后围成封闭的安装腔(4)；

所述安装腔(4)被所述上外壳(1)内部侧壁上的第一凸起部(6)和所述下外壳(2)内部侧壁上的第二凸起部(7)隔成相互连通的右安装腔(41)和左安装腔(42)，所述第一凸起部(6)和第二凸起部(7)相对设置；

所述膜盒式单晶硅差压传感器(3)的主体(31)固定安装在右安装腔(41)中，所述膜盒式单晶硅差压传感器(3)的尾部(32)位于所述左安装腔(42)中，所述膜盒式单晶硅差压传感器(3)将右安装腔(41)分隔成互相独立的液腔(43)和气腔(44)，并将所述左安装腔(42)与所述右安装腔(41)隔离成互不连通的独立腔室；

所述液腔(43)位于靠近所述上外壳(1)一侧，所述气腔(44)位于靠近所述下外壳(2)一侧；

所述上外壳(1)的侧壁上开设有与所述液腔(43)连通的进液口(11)，所述下外壳(2)的侧壁上开设有与所述气腔(44)连通的进气口(21)。

2.根据权利要求1所述的静力水准仪，其特征在于，所述膜盒式单晶硅差压传感器(3)的H端压力膜片(33)与所述液腔(43)充分接触用于感受液腔(43)内的压力，L端压力膜片(34)与所述气腔(44)充分接触用于感受气腔(44)内的压力。

3.根据权利要求1或2所述的静力水准仪，其特征在于，所述上外壳(1)上还设置有排气孔(13)，所述排气孔(13)与所述液腔(43)连通，用于排出液腔(43)中的气泡。

4.根据权利要求3所述的静力水准仪，其特征在于，所述排气孔(13)用球头顶丝(14)进行密封。

5.根据权利要求1或2所述的静力水准仪，其特征在于，所述上外壳(1) 上还设有视窗(15)，所述视窗(15)处安装有与所述视窗(15)形状匹配的透明的有机玻璃(16)。

6.根据权利要求5所述的静力水准仪，其特征在于，所述有机玻璃(16)和所述视窗(15)之间设有第一密封圈(161)，膜盒式单晶硅差压传感器(3)的H端与所述有机玻璃(16)之间依次设有第二密封圈(162)和圆环状的顶环(17)，所述顶环(17)上具有通孔，该通孔与上外壳(1)上的排气孔(13)相互连通；

所述液腔(43)通过依次相互压紧的膜盒式单晶硅差压传感器(3)的H端、第二密封圈(162)、顶环(17)、有机玻璃(16)、第一密封圈(161)、视窗(15)实现密封；

所述下外壳(2)与所述膜盒式单晶硅差压传感器(3)的L端之间设有第三密封圈(163)，所述气腔(44)通过依次相互压紧的下外壳(2)、第三密封圈(163)、膜盒式单晶硅差压传感器(3)的L端实现密封。

7.根据权利要求1所述的静力水准仪，其特征在于，所述上外壳(1)内侧的四个角位置均设有一个螺纹盲孔(18)；

所述下外壳(2)的四个角位置均具有一个阶梯状的螺纹通孔(24)，所述螺纹通孔(24)内侧直径较小且与所述螺纹盲孔(18)直径一致，用于安装固定螺柱，连接紧固上外壳(1)和下外壳(2)；

所述螺纹通孔(24)外侧孔径较大，用于将静力水准仪固定在测量点。

8.根据权利要求1所述的静力水准仪，其特征在于，所述下外壳(2)的进气口(21)相对侧壁上开设有出线孔(23)，所述出线孔(23)为不锈钢防水过线孔，用于连接信息采集设备的电缆线。

9.根据权利要求1所述的静力水准仪，其特征在于，所述液腔(43)的内壁上涂有防锈油层。

10.一种包括权利要求1-9任一项所述的静力水准仪的静力水准测量系统。