[实用新型]一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘

权利要求书

1.一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘，包括铜盘本体和底座，其特征为，所述铜盘本体底部与底座顶部相连，所述铜盘本体包括若干同心设置的树脂铜环，相邻树脂铜环之间设有间隙，所述间隙顶部宽度d1为2±0.2mm。

2.如权利要求1所述的一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘，其特征为，所述铜盘本体的厚度h为15~20mm。

3.如权利要求1所述的一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘，其特征为，所述铜盘本体的内边缘半径为r1，外边缘半径为r2，r1：r2=1：（3.4~3.6）。

4.如权利要求3所述的一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘，其特征为，优选地，r1为180±2mm，r2为625±2mm。

5.如权利要求1所述的一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘，其特征为，所述树脂铜环的数目为12个，由铜盘本体内部向外部方向，树脂铜环依次为第一铜环、第二铜环、第三铜环、第四铜环、第五铜环、第六铜环、第七铜环、第八铜环、第九铜环、第十铜环、第十一铜环、第十二铜环，所述第一铜环、第二铜环和第三铜环的宽度均为d2，所述第四铜环、第五铜环和第六铜环的宽度均为d3，所述第七铜环、第八铜环和第九铜环的宽度均为d4，所述第十铜环、第十一铜环和第十二铜环的宽度均为d5，d2< d3< d4< d5。

6.如权利要求5所述的一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘，其特征为，优选地，d2=24±0.2mm，d3=29±0.2mm，d4=34±0.2mm，d5=54±0.2mm。

7.如权利要求1所述的一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘，其特征为，所述间隙底部呈圆弧形，所述间隙侧壁包括倾斜壁、弧形壁和过渡壁，所述倾斜壁一侧与树脂铜环顶表面倾斜相连，另一侧与弧形壁之间设有圆弧角，所述过渡壁两侧分别与弧形壁和间隙底部相连。

8.如权利要求7所述的一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘，其特征为，所述倾斜壁与树脂铜环顶表面之间的倾斜夹角a为113°。