[实用新型]一种光罩模具有效
| 申请号： | 201720273719.1 | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN206618949U | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 周群飞;饶桥兵;李隆东 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 410311 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模具 | ||
【权利要求书】：
1.一种光罩模具，用于3D镜片的曝光显影，包括模具主体，其特征在于，所述模具主体包括平面部分和设置于所述平面部分上方的凸面部分，所述凸面部位的尺寸与产品尺寸相符，并且，所述凸面部分远离所述平面部分的表面设有预设图案层。
2.根据权利要求1所述的光罩模具，其特征在于，所述图案层的厚度为50-500nm。
3.根据权利要求2所述的光罩模具，其特征在于，所述图案层为光阻层或镀膜层。
4.根据权利要求1所述的光罩模具，其特征在于，所述模具主体为透明模具主体。
5.根据权利要求4所述的光罩模具，其特征在于，所述模具主体为有机玻璃。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的光罩模具，其特征在于，所述模具主体为表面平面度小于0.015mm，表面粗糙度小于1.0μm的模具主体。
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