[实用新型]一种基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统

权利要求书

1.一种基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统，其特征在于，包括光束整形系统、干涉系统和成像系统；所述光束整形系统位于光源光路上，用于放大光束，且产生平行光束；

所述干涉系统包括第一全反镜(7)、第二全反镜(8)、BS镜(6)和双Dove镜(10)，所述双Dove镜(10)包括第一Dove镜(13)和第二Dove镜(14)，所述第二Dove镜(14)底面与第一Dove镜(13)底面相向胶合，且底面镀半透半反膜；所述BS镜(6)位于所述光束整形系统产生的平行光束的光路上，将入射的平行光束反射，使反射光束与入射光束夹角为90°，第一全反镜(7)和第二全反镜(8)位于所述BS镜(6)反射光光路上；所述双Dove镜(10)位于第一全反镜(7)和第二全反镜(8)的反射光路上；所述第二全反镜(8)上放置样品(9)；所述第一全反镜(7)反射的光束为参考光，所述第二全反镜(8)反射的光束为物光，所述参考光和物光经过BS镜(6)透射到双Dove镜(10)；第一全反镜(7)和第二全反镜(8)将参考光和物光合并；

所述成像系统包括显微物镜(11)和CCD(12)；所述显微物镜(11)位于所述双Dove镜(10)上方，用于放大接收到的所述参考光和物光；所述CCD(12)集成在显微物镜(11)上，用于记录和分析参考光和物光的像。

2.根据权利要求1所述的基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统，其特征在于，所述光束整形系统包括在光源传输方向上依次排列的激光器(1)、第一透镜(3)、针孔滤波器(4)和第二透镜(5)，针孔滤波器(4)位于第一透镜(3)的右焦点上，第二透镜(5)的左焦点与第一透镜(3)的右焦点共焦。

3.根据权利要求1所述的基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统，其特征在于，所述第一全反镜(7)与第二全反镜(8)的距离为1-2mm。

4.根据权利要求1所述的基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统，其特征在于，所述第一全反镜(7)上设有角度调节器，用于调整第一全反镜(7)与水平的夹角。

5.根据权利要求2所述的基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统，其特征在于，所述光束整形系统还包括滤光片(2)，位于激光器(1)和第一透镜(3)之间，用于削弱光强。