[实用新型]F‑θ物镜有效

申请号：	201720280679.3	申请日：	2017-03-22
公开（公告）号：	CN206833057U	公开（公告）日：	2018-01-02
发明（设计）人：	蒂姆·巴尔德希芬;乔戈·文德利希	申请（专利权）人：	业纳光学系统有限公司
主分类号：	G02B13/00	分类号：	G02B13/00
代理公司：	上海智信专利代理有限公司31002	代理人：	邓琪
地址：	德国耶拿市0***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	物镜
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【权利要求书】：

1.F-θ物镜，该F-θ物镜包括四个单透镜，具有：作为双凹透镜的具有焦距f₁的第一单透镜L₁、作为弯月形透镜的具有焦距f₂的第二单透镜L₂、作为平凸透镜L₃的具有焦距f₃的第三单透镜L₃、作为双凸透镜的具有焦距f₄的第四单透镜L₄，以及该F-θ物镜的总焦距f，其中这些焦距f₁-f₄与该总焦距f之间的关系满足以下条件：

-2.0<f₁/f<-1.8

-2.6<f₂/f<-2.0

+1.1<f₃/f<+1.6

+1.4<f₄/f<+1.9。

2.根据权利要求1所述的F-θ物镜，其特征在于：f₁/f＝-1.9，f₂/f＝-2.3，f₃/f＝+1.4，f₄/f＝+1.7。

3.根据权利要求2所述的F-θ物镜，其特征在于：该F-θ物镜的入射光瞳EP以21mm的间距d₁位于该第一单透镜L₁之前。

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