[实用新型]一种超精密测量平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及工业测量技术领域，具体涉及一种超精密测量平台。

背景技术

随着超精密加工技术和工艺的发展，超精密测量技术也不断发展，没有超精密的测量技术，超精密加工也无从谈起。换言之，超精密测量技术是超精密加工技术的前提和基础。磁悬浮技术作为一种新兴的技术，在工业领域中有着广泛的应用，在超精密加工和制造领域中也不断的应用，例如超精密磁悬浮主轴、超精密磁悬浮转台、超精密磁悬浮滑台等；气浮在超精密加工中已广泛应用并取得一定成果，例如超精密气浮主轴、超精密气浮转台、超精密气浮导轨等均已在国内外高精密机床上应用。

现在市场上的三坐标测量机等超精密测量设备，测量精度没有国外的设备精度高且价格昂贵，支架上支撑测量平台部分为气浮隔震器，在测量过程中不能保证测量平台的刚性，即在测量过程中，测量平台容易发生浮动，影响最终的测量效果；测量机运动轴部分以及三坐标测量机等测量设备一般选用机械式导轨，很少采用气浮导轨，机械式导轨的定位精度和直线度远远没有气浮式导轨定位精度高，同时市场上的测量平台的测量行程也相对较小。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点与不足，提供一种高精度、高稳定性、大测量行程的超精密测量平台。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：

一种超精密测量平台，包括机架组件、锁死螺母、地脚调节螺钉、支架、电位器式传感器、磁悬浮组件、花岗岩平台、X轴气浮导轨组件、第一立柱、第二立柱、横梁、Y轴气浮导轨组件、高精度传感器、磁吸装置、调节杆、测微仪和中央处理器，其中，所述地脚调节螺钉设置在所述机架组件底部，所述锁死螺母设置在地脚调节螺钉上且靠近机架组件底部；所述电位器式传感器设置在所述支架上，所述支架设置在机架组件上；所述花岗岩平台位于机架组件上方，所述磁悬浮组件设置在机架组件和花岗岩平台之间且与两者相连接；所述X轴气浮导轨组件设置在花岗岩平台的上表面；所述第一立柱通过所述横梁与所述第二立柱相连接，所述第一立柱底部设置在X轴气浮导轨组件上，所述第二立柱底部位于花岗岩平台的上表面；所述Y轴气浮导轨组件设置在所述横梁上，所述高精度传感器设置在Y轴气浮导轨组件底部；所述磁吸装置设置在X轴气浮导轨组件上，所述测微仪通过所述调节杆与磁吸装置相连接；所述中央处理器设置在机架组件内；

所述支架设有三个，分别设置在所述机架组件侧面四个竖棱中的任意三个竖棱上，所述电位器式传感器设有三个，相应设置在所述三个支架顶部；所述电位器式传感器位于所述花岗岩平台下表面的下方，且位于花岗岩平台下表面的边角处；

所述磁悬浮组件包括四组强力电磁铁，每组强力电磁铁包括上强力电磁铁和下强力电磁铁，所述上强力电磁铁分布在所述花岗岩平台下表面的四角，所述下强力电磁铁分布在所述机架组件上表面的四角，且与上强力电磁铁相对应设置；所述上强力电磁铁外套有通电线圈，线圈通电后，上强力电磁铁和下强力电磁铁具有相同极性；

所述X轴气浮导轨组件包括花岗岩基座、X轴气浮滑块、过渡板、同步齿轮带轮和伺服电机，其中，所述花岗岩基座固定在所述花岗岩平台上表面，所述X轴气浮滑块骑滑在花岗岩基座上，所述过渡板设置在X轴气浮滑块顶部，所述同步齿轮带轮固定在花岗岩基座上，所述伺服电机设置在X轴气浮滑块的侧面，且伺服电机的转动轴上设有齿轮，所述齿轮与同步齿轮带轮相连接；

所述第一立柱的底部和磁吸装置都设置在所述X轴气浮导轨组件的过渡板上；所述第二立柱的底部设有气浮块，所述气浮块的下表面设有小孔，所述气浮块的下表面与所述花岗岩平台上表面相接触；所述X轴气浮滑块、第一立柱、横梁、第二立柱和气浮块相互通气；

所述Y轴气浮导轨组件包括Y轴气浮滑块，所述Y轴气浮滑块骑滑在所述横梁上，所述高精度传感器设置在所述Y轴气浮滑块底部；

所述中央处理器分别与所述电位器式传感器、磁悬浮组件、伺服电机、测微仪和高精度传感器相连接。

优选地，所述机架组件由铁方管焊接而成。

优选地，所述X轴气浮导轨组件的过渡板由铁材料制成。

优选地，所述X轴气浮导轨组件的花岗岩基座的长度为1500mm。

优选地，所述第二立柱的底部的气浮块下表面开有四个直径为3mm的小孔，内装有直径为0.018mm的红宝石节流塞，且小孔处还设有深度为0.2mm，宽度为1mm的环形均压卸荷槽。

优选地，所述第一立柱、横梁和第二立柱都由铝合金空心方管构成。

本实用新型的工作原理：