[实用新型]多晶硅还原炉有效

专利信息
申请号: 201720284214.5 申请日: 2017-03-22
公开(公告)号: CN207243475U 公开(公告)日: 2018-04-17
发明(设计)人: 王增林 申请(专利权)人: 宁夏金海金晶光电产业有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035;G01B11/08
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 代理人: 郑自群
地址: 753000 宁夏回族自治*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 多晶 还原
【权利要求书】:

1.一种多晶硅还原炉,其特征在于,包括:

炉体(1);

所述炉体(1)内设置有硅芯支撑件(2)及硅芯(3);

所述硅芯支撑件(2)设置在所述炉体(1)内底部,所述硅芯(3)竖直设置在所述硅芯支撑件(2)顶部;

所述炉体(1)上方设置有观察窗(4),所述观察窗(4)能够观察到所述炉体(1)内的所述硅芯(3);所述观察窗(4)上设置有两个CCD图像传感器(5),两个所述CCD图像传感器(5)在同一水平面上,二者之间的重心连接线与所述硅芯(3)相互垂直;

所述炉体(1)上设置有中控机(6),所述中控机(6)分别与两个所述CCD图像传感器(5)、所述炉体(1)外的显示终端(7)连接;

所述硅芯支撑件(2)包括固定在所述炉体(1)底部的底座(8)及设置在所述底座(8)上的固定架,所述硅芯(3)设置在所述固定架上;

所述固定架的表面上设置有聚氨酯内衬;

所述固定架与水平面严格垂直;

所述炉体(1)顶部设置有钟罩(10),所述钟罩(10)内设置有固定夹头(11);所述固定夹头(11)设置在所述固定架的正上方。

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