[实用新型]多晶硅还原炉有效
申请号: | 201720284214.5 | 申请日: | 2017-03-22 |
公开(公告)号: | CN207243475U | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | 王增林 | 申请(专利权)人: | 宁夏金海金晶光电产业有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035;G01B11/08 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人: | 郑自群 |
地址: | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 还原 | ||
1.一种多晶硅还原炉,其特征在于,包括:
炉体(1);
所述炉体(1)内设置有硅芯支撑件(2)及硅芯(3);
所述硅芯支撑件(2)设置在所述炉体(1)内底部,所述硅芯(3)竖直设置在所述硅芯支撑件(2)顶部;
所述炉体(1)上方设置有观察窗(4),所述观察窗(4)能够观察到所述炉体(1)内的所述硅芯(3);所述观察窗(4)上设置有两个CCD图像传感器(5),两个所述CCD图像传感器(5)在同一水平面上,二者之间的重心连接线与所述硅芯(3)相互垂直;
所述炉体(1)上设置有中控机(6),所述中控机(6)分别与两个所述CCD图像传感器(5)、所述炉体(1)外的显示终端(7)连接;
所述硅芯支撑件(2)包括固定在所述炉体(1)底部的底座(8)及设置在所述底座(8)上的固定架,所述硅芯(3)设置在所述固定架上;
所述固定架的表面上设置有聚氨酯内衬;
所述固定架与水平面严格垂直;
所述炉体(1)顶部设置有钟罩(10),所述钟罩(10)内设置有固定夹头(11);所述固定夹头(11)设置在所述固定架的正上方。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏金海金晶光电产业有限公司,未经宁夏金海金晶光电产业有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720284214.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。