[实用新型]半导体湿法清洗设备中水回收装置有效
| 申请号： | 201720287062.4 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN206635054U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 陈建标;蒋亚东;李天鹏;王光伟;董振雷;顾中平 | 申请（专利权）人： | 江阴新顺微电子有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙)32309 | 代理人： | 周彩钧 |
| 地址： | 214434 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 湿法 清洗 设备 中水 回收 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于蒸发台产能提升的装置，它包括酸类化学槽（1）、氟类化学槽（2）和两个QDR槽（3），其中酸类化学槽（1）和氟类化学槽（2）分别与一个QDR槽（3）为一组进行布置，且两组槽之间相互隔断，在每组槽体上分别增加排放管道（4），所述酸类化学槽（1）和QDR槽的排放管道（4）上连接有含酸排放阀（5）和中水回收阀I （6），所述含酸排放阀（5）通过管路与酸类废水回收池（7）相连，中水回收阀I （6）通过管路与酸类中水回收池I（8）相连，所述氟类化学槽（2）和QDR槽（3）的排放管道（4）上连接有含氟排放阀（9）和中水回收阀II （10），所述含氟排放阀（9）通过管路与氟类废水回收池（11）相连，中水回收阀II （10）通过管路与酸类中水回收池II （12）相连，所述酸类中水回收池I （8）和酸类中水回收池II （12）分别通过中水再利用阀（13）与酸类化学槽（1）、氟类化学槽（2）连接。
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