[实用新型]一种用于制绒刻蚀设备的排风管路

说明书

技术领域

本实用新型涉及排风管路技术领域，具体为一种用于制绒刻蚀设备的排风管路。

背景技术

制绒，是处理太阳能级硅片的一种工艺方法，是硅太阳能电池片生产过程中的的一道必不可少的工序；刻蚀，也是硅太阳能电池片生产过程中的的一道必不可少的工序，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。

在对硅片的制绒和刻蚀过程中，都会产生一定量的气体，所以就需要对制绒刻蚀设备安装用来排风的管路，但是现有技术中，制绒刻蚀设备的排风管路存在以下较为明显的缺陷：常用的排风管路在布局时均有水平走向，水平走向的排风管路内部气体容易液化，从而在排风管路中形成积酸或积水，积酸或者积水不能及时排放存在泄漏或溢流风险，有很大的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于制绒刻蚀设备的排风管路，以解决上述背景技术中提出的问题。所述的用于制绒刻蚀设备的排风管路具有可通过弹簧和挡板的配合，在密封管内部积累液体过多时，推动挡板从而排放出液体，以实现将排风管路中形成的积酸或积水排放出去的功能，把排风横管底部的积液实时引导排放，不需要人为控制，使管路内部不能形成积液，消除隐患的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于制绒刻蚀设备的排风管路，包括连接管、排风横管、排风主管以及排液管，连接管一端连接于制绒刻蚀设备上，连接管的另一端连接有排风横管，排风横管中贯通插设有排风主管，所述排风横管内腔底壁贯通开设有液流孔，所述排风横管外壁上在液流孔处固定有密封管，所述密封管外侧套设有套管，所述套管一端固定于排风横管的外壁上；

所述套管远离排风横管一端固定有固定板，所述固定板靠近密封管一侧表面固定有安装板，所述安装板远离固定板一侧设置有挡板，所述挡板通过若干弹簧固定于安装板上；

所述固定板中贯通开设有通孔，所述套管远离排风横管一端固定有排液管。

优选的，所述排风横管内腔底壁在液流孔两侧对称固定有引流块，所述引流块远离液流孔一端固定于排风横管内侧壁上，且两块所述引流块的上表面均向液流孔倾斜。

优选的，所述弹簧设置有不少于两组，且弹簧以安装板中心为对称中心呈对称分布。

优选的，所述挡板靠近密封管一侧铺设有密封层。

优选的，所述通孔开设于安装板与套管内侧壁之间的竖直平面内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在排风横管的下端固定连接有密封管，密封管用来对排风横管中液化的液体进行引流，使其进入密封管中，密封管外部套设一个套管，密封管下端通过挡板来进行密封，挡板通过弹簧固定于安装板上，当密封管内积累液体体积达到一定范围时，由于液体自身的重力，对弹簧进行挤压，使得挡板向下运动，从而使得密封管的下端打开，密封管内部积累的液体就流入到密封管和套管之间，然后通过通孔流出，经由排液管排放出液体。

本实用新型在现有的排风管路中加入了用来防止积液的排液管，排液管上端通过弹簧和挡板的配合，在密封管内部积累液体过多时，推动挡板从而排放出液体，以实现将排风管路中形成的积酸或积水排放出去的功能，把排风横管底部的积液实时引导排放，不需要人为控制，使管路内部不能形成积液，消除隐患；而且挡板和弹簧的设置，在液体积累过多挤压弹簧时，只有积累在密封管底部的液体才会流出，可以很好的防止气体从排液管泄漏出去，防止气体污染。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构半剖示意图；

图3为本实用新型A区放大示意图。

图中：1制绒刻蚀设备、2连接管、3排风横管、4排风主管、5液流孔、6密封管、7套管、8固定板、81通孔、9安装板、10弹簧、101引流块、11挡板、12排液管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：