[实用新型]一种多腔室间气氛隔离装置有效
| 申请号： | 201720290177.9 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN206591176U | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 兰立广 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 汤财宝 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多腔室间 气氛 隔离 装置 | ||
1.一种多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：包括第一反应腔室和第二反应腔室，所述第一反应腔室与所述第二反应腔室之间设有隔离间室，所述隔离间室内设有第一隔离墙和第二隔离墙；
所述第一隔离墙和第二隔离墙共同围成进气腔，所述第一隔离墙与所述第一反应腔室的侧壁共同形成第一隔离腔，所述第二隔离墙与所述第二反应腔室的侧壁共同形成第二隔离腔；
所述第一隔离墙的顶部设有连通所述进气腔和所述第一隔离腔的第一进气狭缝，所述第二隔离墙的顶部设有连通所述进气腔和所述第二隔离腔的第二进气狭缝；
所述第一反应腔室的侧壁底部设有连通所述第一反应腔室和第一隔离腔的第一排气狭缝，所述第二反应腔室的侧壁底部设有连通所述第二反应腔室和第二隔离腔的第二排气狭缝；
所述第一隔离腔和第二隔离腔的底部分别设有第一出气口和第二出气口，用于连接抽气装置；所述进气腔连接有进气口，用于连接充气装置。
2.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述进气口处设有气体流量计。
3.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述第一反应腔室与所述第二反应腔室并列设置，所述第一隔离墙与所述第二隔离墙设置于所述第一反应腔室与所述第二反应腔室相邻的两个侧壁之间，且所述第一隔离墙和所述第二隔离墙平行。
4.根据权利要求3所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述第一隔离腔、第二隔离腔以及进气腔的体积相同。
5.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述进气口设于所述进气腔的底部。
6.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述进气腔内通入的气体为惰性气体。
7.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述多腔室间气氛隔离装置采用铝合金或不锈钢材料制成。
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