[实用新型]一种化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种化学气相沉积系统，其特征在于，包括：

化学沉积室；所述化学沉积室包括反应腔体；

设置于化学沉积室外的高温加热装置；

与化学沉积室相连通的气体供给系统；所述气体供给系统包括气体源进气管与固体源气体进气管，所述固体源气体进气管位于气体源进气管的管内；所述固体源气体进气管的出口与所述化学沉积室的反应腔体相连通；所述气体源进气管的出口与所述化学沉积室的反应腔体相连通；

与化学沉积室的反应腔体相连通的真空系统。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述化学气相沉积系统还包括进气法兰；所述进气法兰包括第一进气口、第二进气口与出气口；所述进气法兰的第一进气口与出气口相连通；所述出气口通过卡套接口与所述气体源进气管相连通；所述第二进气口与所述固体源气体进气管相连通，且所述第二进气口与第一进气口及出气口不连通。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述气体源进气管的直径为40～60mm。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述固体源气体进气管的直径为20～30mm；长度为400～600mm。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述化学气相沉积系统还包括固体源加热装置；所述固体源加热装置与所述固体源气体进气管的进口相连通。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述固体源加热装置还设置有载气进口。

7.根据权利要求5所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述固体源加热装置还设置有温度传感器。

8.根据权利要求5所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述固体源气体进气管外缠绕有加热带。

9.根据权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述高温加热装置以硅钼棒作为加热元件，氧化镁作为保温材料，N型热电偶作为测温元件。

10.根据权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述反应腔体为石英管。