[实用新型]卧式石墨烯卷对卷连续生长设备

权利要求书

1.卧式石墨烯卷对卷连续生长设备，包括真空上料室(1)、高温工艺腔室(7)、真空取料室(8)、驱动装置；所述真空上料室(1)内设置有石墨烯生长基底放料辊(2)，所述真空取料室(8)内设置有石墨烯基底收料辊(9)以及收料导向辊(10)；所述真空上料室(1)和真空取料室(8)均设置有真空泵；所述石墨烯生长基底放料辊(2)以及石墨烯基底收料辊(9)均通过驱动装置驱动转动；所述高温工艺腔室(7)上设置有快速加热装置(5)；

其特征在于：所述高温工艺腔室(7)一端与真空上料室(1)连接且连通，另一端与真空取料室(8)连接且连通；所述高温工艺腔室(7)的两端均设置有匀流隔热装置(6)以及快速冷却装置(4)；

所述真空上料室(1)内设置有用于检测石墨烯生长基底(16)张力的张力检测装置(3)，所述真空取料室(8)内设置有用于冷却检测石墨烯生长基底(16)的冷却装置(11)，所述冷却装置位于石墨烯基底收料辊(9)与收料导向辊(10)之间。

2.如权利要求1所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述驱动装置包括第一驱动装置(12)以及第二驱动装置(13)；所述第一驱动装置(12)与石墨烯生长基底放料辊(2)传动连接；所述第二驱动装置(13)与石墨烯基底收料辊(9)传动连接。

3.如权利要求2所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述石墨烯生长基底放料辊(2)具有的转轴穿过真空上料室(1)，且通过离合器(14)与第一驱动装置(12)传动连接；所述石墨烯基底收料辊(9)具有的转轴穿过真空取料室(8)，且通过离合器(14)与第二驱动装置(13)传动连接。

4.如权利要求3所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述石墨烯生长基底放料辊(2)的转轴与真空上料室(1)之间设置有真空动密封装置(15)；所述石墨烯基底收料辊(9)的转轴与真空取料室(8)之间设置有真空动密封装置(15)。

5.如权利要求2、3或4所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述第一驱动装置(12)以及第二驱动装置(13)均采用减速电机。

6.如权利要求5所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：还包括处理器，所述处理器分别与张力检测装置(3)以及第一驱动装置电连接，且所述处理器、张力检测装置(3)以及第一驱动装置(12)形成反馈闭环。

7.如权利要求1所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述快速冷却装置(4)与高温工艺腔室(7)可拆卸连接。

8.如权利要求1所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述匀流隔热装置(6)包括至少两层隔热板(61)以及支撑柱(62)，所述支撑柱(62)设置在相邻两层隔热板(61)之间；所述隔热板(61)上设置有中心通孔(63)，所述隔热板(61)上设置有均匀分布的透气孔，所述相邻两层隔热板(61)上的透气孔错位分布。