[实用新型]立式石墨烯卷对卷连续生长设备

权利要求书

1.立式石墨烯卷对卷连续生长设备，包括真空上料室(1)、高温工艺腔室(7)、真空取料室(8)、驱动装置；所述真空上料室(1)内设置有石墨烯生长基底放料辊(2)，所述真空取料室(8)内设置有石墨烯基底收料辊(9)以及收料导向辊(10)；所述真空上料室(1)和真空取料室(8)均设置有真空泵；所述石墨烯生长基底放料辊(2)以及石墨烯基底收料辊(9)均通过驱动装置，驱动转动；所述高温工艺腔室(7)上设置有快速加热装置(6)；

其特征在于：所述高温工艺腔室(7)设置在真空上料室(1)与真空取料室(8)之间；所述真空上料室(1)位于高温工艺腔室(7)的下端，所述真空取料室(8)设置在高温工艺腔室(7)的上端；所述高温工艺腔室(7)的两端均设置有快速冷却装置(5)；

所述真空上料室(1)内设置有用于检测石墨烯薄膜(16)张力的张力检测装置(3)，所述真空取料室(8)内设置有用于检测石墨烯薄膜(16)线速度的速度检测装置(11)。

2.如权利要求1所述的立式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述驱动装置包括第一驱动装置(12)以及第二驱动装置(15)；所述第一驱动装置(12)与石墨烯生长基底放料辊(2)传动连接；所述第二驱动装置(15)与石墨烯基底收料辊(9)传动连接。

3.如权利要求2所述的立式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述石墨烯生长基底放料辊(2)具有的转轴穿过真空上料室(1)，且通过离合器(13)与第一驱动装置(12)传动连接；所述石墨烯基底收料辊(9)具有的转轴穿过真空取料室(8)，且通过离合器(13)与第二驱动装置(15)传动连接。

4.如权利要求3所述的立式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述石墨烯生长基底放料辊(2)的转轴与真空上料室(1)之间设置有真空动密封装置(14)；所述石墨烯基底收料辊(9)的转轴与真空取料室(8)之间设置有真空动密封装置(14)。

5.如权利要求2、3或4所述的立式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述第一驱动装置(12)以及第二驱动装置(15)均采用伺服电机加减速器。

6.如权利要求1所述的立式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述真空上料室(1)内设置有放料导向棍(4)；石墨烯生长基底放料辊(2)上的石墨烯薄膜(16)依次绕过张力检测装置(3)、放料导向棍(4)进入高温工艺腔室(7)。

7.如权利要求6所述的立式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：还包括处理器，所述处理器分别与张力检测装置(3)以及第一驱动装置电连接，且所述处理器、张力检测装置(3)以及第一驱动装置(12)形成反馈闭环。

8.如权利要求7所述的立式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述处理器分别与速度检测装置(11)以及第二驱动装置(15)电连接，且所述处理器、速度检测装置(11) 以及第一驱动装置(15)形成反馈闭环。

9.如权利要求1所述的立式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述真空取料室(8)内的收料导向辊(10)上设置有自然垂下与石墨烯生长基底放料辊(2)上基底卷材连接的引导段。

10.如权利要求1所述的立式石墨烯卷对卷连续生长设备，其特征在于：所述快速冷却装置(5)与高温工艺腔室(7)可拆卸连接。